[논문]레이저 유도 열화학 습식에칭을 이용한 티타늄 미세구조물 제조

신용산; 손승우; 정성호

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레이저 유도 열화학 습식에칭을 이용한 티타늄 미세구조물 제조
Laser-induced Thermochemical Wet Etching of Titanium for Fabrication of Microstructures 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.21 no.4 = no.157, 2004년, pp.32 - 38

신용산 (광주과학기술원 대학원 기전공학과) , 손승우 (광주과학기술원 대학원 기전공학과) , 정성호 (광주과학기술원 기전공학과)

Abstract ▼ AI-Helper

Laser-induced thermochemical wet etching of titanium in phosphoric acid has been investigated to examine the feasibility of this method fur fabrication of microstructures. Cutting, drilling, and milling of titanium foil were carried out while examining the influence of process parameters on etch width, etch depth, and edge straightness. Laser power, scanning speed of workpiece, and etchant concentration were chosen as major process parameters influencing on temperature distribution and reaction rate. Etch width increased almost linearly with laser power showing little dependence on scanning speed while etch depth showed wide variation with both laser power and scanning speed. A well-defined etch profile with good surface quality was obtained at high concentration condition. Fabrication of a hole, micro cantilever beam, and rectangular slot with dimension of tess than 100${\mu}{\textrm}{m}$ has been demonstrated.

주제어

참고문헌 (12)

Kanaoka, M., 레이저 가공기술, 한국산업정보센타, pp. 13-14, 2000
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Bauerle, D., Laser processing and chemistry, 3rd ed, Springer, pp. 285, 2000
Metev, S., Laser-assisted microtechnology, 2nd ed, Springer, pp. 210, 1998
Park, J. M. and Jeong, H. D., 'A study on the argon laser assisted theromchemical micro etching,' KSPE, pp. 844-847, 2001
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Nowak, R. and Metev, S., 'Thermochemical laser etching of stainless steel and titanium in liquids,' Appl. Phys. A, Vol.63, pp. 133-138, 1996

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Lu, Y. F., 'Wet- chemical etching of Mn-Zn Ferrite by focused Ar+-laser irrdiation in H3P04,' Appl. Phys. A, Vol. 47, pp. 319-325, 1988

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