$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

티타늄층 또는 티타늄 함유층의 에칭액 조성물 및 에칭 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C09K-013/00
  • H01L-021/28
  • H01L-021/306
  • H01L-021/3213
  • H01L-029/786
출원번호 10-2019-7032112 (2019-10-30)
공개번호 10-2019-0133749 (2019-12-03)
등록번호 10-2527728-0000 (2023-04-26)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2017-071076 (2017-03-31)
국제출원번호 PCT/JP2018/013603 (2018-03-30)
국제공개번호 WO 2018/181896 (2018-10-04)
번역문제출일자 2019-10-30
DOI http://doi.org/10.8080/1020197032112
발명자 / 주소
  • 사사키, 료우 / 일본, ******* 사이타마켄, 소카-시, 이나리 *-초메, *-*, 간또 가가꾸 가부시끼가이샤 츄오켄큐쇼 나이
  • 타카하시, 히데키 / 일본, ******* 사이타마켄, 소카-시, 이나리 *-초메, *-*, 간또 가가꾸 가부시끼가이샤 츄오켄큐쇼 나이
  • 요코야마, 타이가 / 일본, ******* 도쿄도, 츄오-쿠, 니혼바시 무로마치 *-초메, *-*, 이스트 무로마치 미츠이 빌딩
출원인 / 주소
  • 간또 가가꾸 가부시끼가이샤 / 일본 도꾜도 쥬오꾸 니혼바시혼쵸 *-초메 *-*
대리인 / 주소
  • 이원희
심사청구여부 있음 (2021-01-25)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

산화물 반도체층 상에 형성된 티타늄층 또는 티타늄 함유층을 선택적으로 에칭 처리하기 위한 티타늄 또는 티타늄 합금 에칭액 조성물 및 상기 에칭액 조성물을 사용한 에칭 방법을 제공한다.본 발명의 에칭액 조성물은, 암모늄 이온을 포함하는 화합물, 과산화수소 및 염기성 화합물을 포함하며, pH가 7 내지 11인 산화물 반도체 상의 티타늄층 또는 티타늄 함유층을 에칭하기 위한 에칭액 조성물이다.

대표청구항

암모늄 이온을 포함하는 화합물, 과산화수소 및 염기성 화합물을 포함하는, pH가 7 내지 11이고, 상기 암모늄이온을 포함하는 화합물이 황산 암모늄, 인산 암모늄, 아세트산 암모늄, 질산 암모늄 및 숙신산 암모늄으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 또는 2종 이상의 화합물인, 산화물 반도체 상의 티타늄층 또는 티타늄 함유층을 에칭하기 위한 에칭액 조성물.

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 질화 티타늄의 선택적인 에칭을 위한 조성물 및 방법 | 천 리민, 리피 스티븐, 쿠퍼 엠마누엘 아이, 송 링얀

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. [한국] 금범프 공정의 언더범프메탈층인 티탄합금 박막 에칭 조성물 및 이를 사용한 언더범프메탈층인 티탄합금 박막 에칭방법 | 백영기
  2. [한국] 티타늄을 포함하는 금속 적층 복합막질 식각을 위한 조성물 | 박철진, 김문성, 김규수, 김동현
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로