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회전정밀도의 고정밀 측정기술
High Precision Measurement of Rotational Accuracy 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.21 no.8 = no.161, 2004년, pp.7 - 13  

(일본 Tohoku대학 공학연구과 나노메카닉스 전공) ,  박천홍 (한국기계연구원 공작기계그룹)

초록
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초정밀 공작기계의 기능은 초정밀 운동에 의해 대부분 지배된다. 이러한 운동을 생성하는 고정밀 베어링의 운동정밀도는 이미 나노미터 레벨에 도달하고 있으며, 이러한 운동정밀도를 나노미터 레벨의 정밀도로 측정하는 것(정밀나노계측)이 중요한 과제가 되고 있다. 예를 들어, 초정밀선반 등에 있어서, 공기베어링을 대표로 하는 높은 회전정밀도를 갖는 회전축(주축)이 사용되고 있으며, 따라서 이러한 고정밀 주축의 회전정밀도를 나노미터 레벨의 정밀도로 평가하는 기술은 매우 중요하다. (중략)

주제어

#회전정밀도   #정밀나노계측   #오차분리   #멀티스텝법   #멀티프루브법  

참고문헌 (25)

  1. Gao Wei, 'Precision Nanometrology and its Applications to Precision Nanosystems,' Proc. of NANO2003, Daejeon, pp. 115-122, 2003 

  2. Tanaka, K., 'Air Bearing and Ultra Precision Machining,' Science of Machine, Vol. 34, No. 12, pp. 1304-1310, 1982 

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  4. Kiyono, S., Gao, W. and Ogura, I., 'In Situ Self- Calibration of an Individual Displacement Sensor,' Jr. of JSPE, Vol. 63, No. 10, pp. 1417-1421, 1997 

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  10. Kamigaki, I., Yamakawa, O., Omori, Y., Yamagiwa, T. and Sakai, H., 'Roundness measurement and its uncertainty in an international comparison,' Proc. of IMEKO 2000, Wien, pp. 139-144, 2000 

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  25. Sawabe, M. 'Methods for accuracy measurement of precision spindles and their problems,' Journal of JSPE, 45-10,(1979), pp. 1237-1242 

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