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[국내논문] 초단펄스 응용 전해증착에 의한 마이크로 구조물 제작
Microfabrication by Localized Electrochemical Deposition Using Ultra Short Pulses 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.21 no.11 = no.164, 2004년, pp.186 - 194  

박정우 (서울대학교 대학원 기계항공공학부) ,  류시형 (전북대학교 기계항공시스템공학부) ,  주종남 (서울대학교 기계항공공학부)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this research, microfabrication technique using localized electrochemical deposition (LECD) with ultra short pulses is presented. Electric field is localized near the tool tip end region by applying a few hundreds of nano second pulses. Pt-Ir tip is used as a counter electrode and copper is depos...

Keyword

#전해증착   #초단펄스   #미세구조물제작   #미 세기둥   #미세스프링   #미세패터닝  

참고문헌 (10)

  1. Bard, A. J. and Faulkner, L. R., Electrochemical Methods: Fundamentals and Applications, 2nd ed., John Wiley & Sons, New York, 2000 

  2. Madden, J. D. and Hunter, I. W., 'Three-Dimensional Microfabrication by Localized Electrochemical Deposition,' Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 5, No. 1, pp. 24-32, 1996 

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  3. El-Giar, E. M., Said, R. A., Bridges, G. E. and Thomson, D. J., 'Localized Electrochemical Deposition of Copper Microstructures,' Journal of the Electrochemical Society, Vol. 147, No. 2, pp. 586-591,2000 

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  4. Said, R. A., 'Microfabrication by Localized Electrochemical Deposition: Experimental Investigation and Theoretical Modeling,' Nanotechnology, Vol. 14, pp. 523-531, 2003 

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  5. Yeo, S. H., Choo, J. H. and Sim, K. H. A., 'On the Effects of Ultrasonic Vibrations on Localized Electrochemical Deposition,' Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 12, pp. 271-279, 2002 

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  6. Yeo, S. H. and Choo, J. H., 'Effects of Rotor Electrode in the Fabrication of High Aspect Ratio Microstructures by Localized Electrochemical Deposition,' Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 11, pp. 435-442, 2001 

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  7. Schuster, R., Kirchiner, v., Allongue, P. and Etrl, G., 'Electrochemical Micromachining,' Science, Vol. 289, pp. 98-101, 2000 

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  8. Ahn, S. H., Ryu, S. H., Choi, D. K. and Chu, C. N., 'Localized Electro-chemical Micro Drilling Using Ultra Short Pulses,' Journal of the Korean Society of Precision Engineering, Vol. 20, No. 8, pp. 213-220, 2003 

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  9. Paik, W. K. and Park, S. M., Electrochemistry: Science and Technology of Electrode Processes, Cheongmoongak, Seoul, 2001 

  10. Jansson, A., Thornell, G. and Johansson, S., 'High Resolution 3D Microstructures Made by Localized Electrodeposition of Nickel,' Journal of the Electrochemical Society, Vol. 147, No. 5, pp. 1810-1817,2000 

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