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NTIS 바로가기반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology, v.3 no.3, 2004년, pp.41 - 44
김장우 (호서대학교 환경안전공학부) , 정진도 (호서대학교 환경안전공학부) , 김성근 (호서대학교 환경공학과 대학원)
The aim of this study is the confirmation of the coating uniformity affected by the surface tension and wall attachment angle in a slit-coater model. In this work, we use the commercial code (Fluent) to solve the two-phase flow formed with air and photo resist numerically. The results show that the ...
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