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NTIS 바로가기반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology, v.3 no.4, 2004년, pp.51 - 55
전종균 (선문대학교 기계공학부) , 김강부 (알엠에스테크놀러지(주)) , 손성완 (알엠에스테크놀러지(주)) , 이홍기 (알엠에스테크놀러지(주))
In the design stage of high precision manufacturing/inspection FAB facilities, it is necessary to investigate the allowable vibration limits of high precision equipments and to study structural dynamic characteristics of C/R and Sub-structure in order to provide structural vibration criteria to sati...
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