[논문]반도체 공정에 이용되는 지능형 천장 반송 시스템의 최적 중앙제어

오진석; 김학선

반도체 공정에 이용되는 지능형 천장 반송 시스템의 최적 중앙제어
Optimal Central Control of OHT(Overhead Hoist Transport) in Semiconductor Processing 원문보기

There is an Overhead Hoist Transport(OHT) for delivering the wafer in semiconductor processing. The transfer system is consists of carrier vehicle. rail, and support. OHTCMS(OHT Control and Management System) has to take the feature, such as the optimal control and integration with several OHT. In this paper, ESRA(Efficiency of Shortest - Route Algorithms) is proposed which can be transported optimal route and be prevented collision using the Floyd-Warshall algorithms. The proposed algorithm is verified through consecutive simulation for a long time.

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

OCS는 공정 전체를 관리하는 시스템인 MCS (Manufacturing Control System)로부터 지령된 반송정보를 기반으로 반송을 수행하기에 최적의 위치에 있는 OHT를 선정하고 선정된 OHT로 하여금 최단 거리를 통하여 반송을 수행하고, 반송 중에 OHT 상호 간에 충돌을 회피하며 반송을 수행할 수 있도록 한다. 본 논문에서는 대단위 웨이퍼 생산 공장에 투입될 대다수의 OHT를 통합적으로 최적 제어관리 하는 OCS에 탑재될 최적경로 선정 알고리즘과 반송작업을 수행중인 OHT 상호간에 충돌을 회피할 수 있는 해법을 제시하였다. 제안된 알고리즘 및 충돌 회피 해법은 시뮬레이션을 수행함으로써 타당성을 검증하였다.

제안 방법

2) OHT가 알고리즘에 의해서 계산된 최적 경로를 주행할 때 발생할 수 있는 충돌 및 분기점에서의 정체 현상을 방지하기 위한 로직(logic)을 설계하였으며 소프트웨어적으로 이를 구현하였고 제안된 알고리즘과 연동하여 시뮬레이션을 수행하였다. 그 결과, 만족스러운 결과를 도출할 수 있었다.
하지만 실제 프로그램에서는 무한대의 표현이 불가능하다. 따라서 본 논문에서는 최대경로 길이보다 긴 특정 값을 무한대 값으로 설정하여 프로그래밍 한다. 따라서 특정 경로 요구에 대해 해당 경로가 존재하는지의 여부를 추가되는 연산 없이 곧바로 확인할 수 있다.
본 논문에서는 다음의 Fig. 5와 같이 OHT 최적 중앙제어 시뮬레이터를 소프트웨어 상에서 구현하였다.
본 시뮬레이터는 본 논문에서 제시한 알고리즘 및 충돌방지 해법이 적용되었으며 다음의 Table 5와 같은 조건을 설정하여 시뮬레이션을 수행함으로써 제안된 알고리즘의 타당성을 검증하였다.
본 알고리즘을 구현함으로써 최적 경로선정에 대한 시뮬레이션을 수행함으로써 알고리즘의 성능평가 및 타당성을 검증할 수 있다. 본 알고리즘은 제시한 충돌방지 해법과 연동되도록 구현하였다.

데이터처리

본 논문에서 제시한 최적경로 선정 알고리즘의 구현은 Pentium IV급 PC상에서 Visual C++ 6.0을 사용하여 프로그래밍 한다. 본 알고리즘을 구현함으로써 최적 경로선정에 대한 시뮬레이션을 수행함으로써 알고리즘의 성능평가 및 타당성을 검증할 수 있다.

이론/모형

본 논문에서는 OHT가 최단거리 기반의 최적 이송경로를 통하여 이송작업을 수행하기 위해 OCS에 반드시 탑재되어야 하는 최적 이송경로 탐색 알고리즘으로 Floyd-Warshall 알고리즘을 채택하였다.

성능/효과

1) OHT가 최적 경로를 경유하여 물류를 이송하기 위한 알고리즘을 제안하였으며 소프트웨어적으로 이를 구현하여 시뮬레이션을 수행하였으며 그 결과, 만족스러운 결과를 얻었다.
그 결과, 만족스러운 결과를 도출할 수 있었다.
수행함을 관찰할 수 있었다. 또한 작업 수행 중에 OHT 상호간에 충돌이나 분기점에서의 교통 장애가 전혀 발생되지 않았으며 각 작업장별로 이송하여야 할 물류가 적체되지 않음을 확인할 수 있었다. 시뮬레이션을 수행하여 이와 같은 결과를 도출함으로써 본 논문에서 제안한 알고리즘이 타당함을 검증하였으며 결과를 요약하면 다음과 같다.
0을 사용하여 프로그래밍 한다. 본 알고리즘을 구현함으로써 최적 경로선정에 대한 시뮬레이션을 수행함으로써 알고리즘의 성능평가 및 타당성을 검증할 수 있다. 본 알고리즘은 제시한 충돌방지 해법과 연동되도록 구현하였다.
시뮬레이션을 수행한 결과 제안된 알고리즘에 의해 OHT가 최적의 경로로 주행하며 물류 이송작업을 수행함을 관찰할 수 있었다. 또한 작업 수행 중에 OHT 상호간에 충돌이나 분기점에서의 교통 장애가 전혀 발생되지 않았으며 각 작업장별로 이송하여야 할 물류가 적체되지 않음을 확인할 수 있었다.
본 논문에서는 대단위 웨이퍼 생산 공장에 투입될 대다수의 OHT를 통합적으로 최적 제어관리 하는 OCS에 탑재될 최적경로 선정 알고리즘과 반송작업을 수행중인 OHT 상호간에 충돌을 회피할 수 있는 해법을 제시하였다. 제안된 알고리즘 및 충돌 회피 해법은 시뮬레이션을 수행함으로써 타당성을 검증하였다.

후속연구

따라서 본 논문에서 제시한 최적경로 선정 알고리즘만을 단독으로 OCS에 탑재하여 운용한다면 충돌사고를 피하지 못할 것이다. 따라서 선정된 최적 경로와 충돌방지 로직(Logic)을 동시에 고려하여야 한다.

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 논문명, 저널/프로시딩명, 저자 , 발행년, 권, 호, 시작페이지, 끝페이지, 발행기관 관리번호, 논문명, 대등논문명, 저자 , 저널/프로시딩명, 발행기관, 발행년, 발행언어, 권, 호, 시작페이지, 끝페이지, ISBN, ISSN, 주제분야, 키워드, 초록(한글), 초록(영문), 저자(소속기관)
저장형식	Text(ASCII format) Excel format RefWorks Direct Export RIS format (for Reference Manager, ProCite, EndNote), Scholar's Aids, Mendeley
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format

연합인증

반도체 공정에 이용되는 지능형 천장 반송 시스템의 최적 중앙제어
Optimal Central Control of OHT(Overhead Hoist Transport) in Semiconductor Processing 원문보기

Abstract ▼ AI-Helper

주제어

AI 본문요약
AI-Helper

문제 정의

제안 방법

데이터처리

이론/모형

성능/효과

후속연구

참고문헌 (4)

이 논문을 인용한 문헌

저자의 다른 논문 :

관련 콘텐츠

원문 보기

원문 URL 링크

이 논문과 함께 이용한 콘텐츠

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

연합인증

반도체 공정에 이용되는 지능형 천장 반송 시스템의 최적 중앙제어 Optimal Central Control of OHT(Overhead Hoist Transport) in Semiconductor Processing 원문보기

Abstract ▼ AI-Helper

주제어

AI 본문요약 엑셀 다운로드 AI-Helper

문제 정의

제안 방법

데이터처리

이론/모형

성능/효과

후속연구

참고문헌 (4)

이 논문을 인용한 문헌

저자의 다른 논문 :

오진석 (102)

관련 콘텐츠

원문 보기

원문 URL 링크

이 논문과 함께 이용한 콘텐츠

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

선택된 텍스트

반도체 공정에 이용되는 지능형 천장 반송 시스템의 최적 중앙제어
Optimal Central Control of OHT(Overhead Hoist Transport) in Semiconductor Processing 원문보기

AI 본문요약
AI-Helper