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NTIS 바로가기센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.14 no.4, 2005년, pp.237 - 243
김우정 (주식회사 맨텍) , 조용수 (경북대학교 전자공학과) , 강현재 (주식회사 맨텍) , 최시영 (경북대학교 전자공학과)
Strain gauge type load cell is used widely as weight sensor. However, it has problems such as noise, power consumption, high cost and big size. Semiconductor type piezoresistive pressure sensor is practically used in recent for low hysteresis, good linearity, small size, light weight and strong on v...
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이창준, 강신원, 최시영, 'SOB 웨이퍼를 이용한 압저항형 압력센서의 제조', 센서학회지, 제4권, 제 1 호, pp. 29-34, 1995
손승현, 김우정, 최시영, '가스누출감지용, 실리콘 압저항형 절대압 압력센서의 제조 및 온도보상', 센서학회지, 제7권, 제3호, pp. 171-178, 1998
배혜진, 손승현, 최시영, '생체 in-vivo 측정용 살리콘 압저항형 압력센서의 제조 및 특성', 센서학회지, 제10권, 제3호, pp. 148-155, 2001
김우정, 조용수, 황정훈, 최시영, '스테인레스 봉입형 반도체 압력센서의 제작 및 특성', 센서학회지, 제11권, 제3호, pp 138-144,2002
R. Jhonson and R. E. Higashi, 'A highly sensitivity silicon cjip microtransducer for air flow and differential pressure sensing application', Sensors and Actuators, vol. 11, pp. 63-72, 1987
K. M. Mahmoud, R. P. Van Kampen, M. J. Rutka, and R. F. Wolffen buttel, 'A silicon integrated smart pressure sensor', Transducer 93, pp. 217-220, 1993
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E. Stemme and G. Stemme, 'A balanced dual-diaphragm resonant pressure sensor in silicon', IEEE Trans. on Electron Devices, vol. 37, p. 648, 1990
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