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문제 정의
- 본 논문에서는 탐침 첨단에 위치한 열전쌍 접점의 크기를 최소화하면서도 높은 수율을 갖는 새로운 공정을 개발하였다. 제작된 첨단 끝의 열전쌍접점의 높이는 70 nm, 폭은 90 nm 이고 첨단 끝의곡률 반경은 100 nm 이며 평균 수율은 95% 이상이었다.
- 본 논문의 목적은 탐침 첨단에 위치한 열전쌍접점의 크기를 최소화하고 동시에 높은 수율을 갖는 새로운 공정을 개발하는 것이다. 열전쌍 접점의 최소화는 주사탐침 열 현미경 열전 탐침 (thermoelectric SThM probe)의 온도 측정 감도와 공간적 정밀도를 향상시킨다.
가설 설정
- 두 번째, 두 금속간의 접촉저항을 최소화하기 위함이다. 만약 첫 번째 금속이 쉽게 산화되는 물질일 경우, 산화막에 의하여 두 금속 사이에는 큰 접촉저항이 발생하게 되며, 이로 인해 존슨 잡음이 커지게 된다.
- 세 번째, 제작공정의 용이성 때문이다. 백금과 크롬의 경우에는 열전계수의 차이가 금과 크롬보다 크지만, 백금의 제작 공정이 지나치게 어렵기 때문에 본 연구에서는 금을 선택하였다.
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