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전자빔증착법을 통한 SiOx 박막의 액정 배향 효과
Liquid Crystal Alignment Effects on SiOx Thin Film by Electron Beam Evaporation Method 원문보기

전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.18 no.11, 2005년, pp.1024 - 1027  

강형구 (연세대학교 전기전자공학과) ,  한진우 (연세대학교 전기전자공학과) ,  강수희 (연세대학교 전기전자공학과) ,  김종환 (연세대학교 전기전자공학과) ,  김영환 (연세대학교 전기전자공학과) ,  황정연 (연세대학교 전기전자공학과) ,  서대식 (연세대학교 전기전자공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

By using $45^{\circ}$ obliqued evaporation method with electron beam system, uniformly vertical liquid crystal (LC) alignment was achieved. And a high pretilt angles of about $2.5^{\circ}$ were measured. Also, it was verified that there are no variations of pretilt angle as a f...

주제어

#LC alignment   #Pretilt angle   #Annealing   #Thermal stability  

AI 본문요약
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* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 본 연구에서는 SiOx의 45° 전자 빔 경사 증착을 통한 수직 배향 효과와 프리틸트 각의 제어, 그리고 액정배향의 열적 안정성에 대해 검토해 보았다.
  • 본 연구에서는 전자빔 경사증착을 이용한 SiOx 박막의 액정배향 효과와 프리틸트 제어에 대해서 검토하였다. 기존의 SiOx 경사증착에서는 프리틸트각이 0° (60° 경사증착의 경우)와 25° (85° 경사 증착의 경우)가 발생하여 실용화에 어려움이 있었다.
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참고문헌 (7)

  1. J. E. Anderson, J. Gandhi, and J. Erdmann, 'Vertically aligned field-sequential microdisplay', SID' 02, p. 958, 2002 

  2. D.-S. Sea, K. Muroi, and S. Kobayashi, 'Generation of pretilt angle in nematic liquid crystal, 5CB, media aligned polyimide films prepared by spin-coating and LB techniques: effect of rubbing', Mol. Cryst. Liq. Cryst., Vol. 213, p. 223, 1992 

  3. D.-S. Seo, N. Yoshida, S. Kobayashi, M. Nishikawa, and Y. Yabe, 'Effects of conjugation of mesogenic core of nematic liquid crystals for polar anchoring energy and surface order parameter on rubbed polyimide films', Jpn. J. Appl, Phys., Vol. 33, p. L1174, 1994 

  4. P. Chaudharl, J. Lacey, J. Doyle, E. Galligan, S. C. Alan, A. Callegari, G. Hougham, N. D. Lang, P. S. Andry, R. John, K. H. Yang, M. Lu, C. Cal, J. Speidell, S. Purushothaman, J. Ritsko, M. Samnt, J. Stohrt, Y. Nakagawa, Y. Katoh, Y. Saitoh, K. Saka, H. Satoh, S. Odahara, H. Nakano, J. Nskshski, and Y. Shiota, 'Atomic-beam alignment of material for liquid-crystal displays', Nature, Vol. 411, p. 56, 2001 

  5. Y.-M. Jo, J.-Y. Hwang, D.-S. Sea, S.-J. Rho, and H. - K. Baik, 'Liquid crystal aligning capabilities and EO characteristics of the TN-LCD with ion-beam exposure on a new diamond-like carbon thin film layer', Mol. Cryst, Liq. Cryst., Vol. 410, p, 319, 2004 

  6. H. Yokoyama and H. A. van Sprang, 'A novel method for determining the anchoring energy function at a nematic liquid crystalwall interface from director distortios at high fields', J. Appl. Phys., Vol. 57, p. 4520, 1985 

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  7. J.-Y. Hwang, Y.-M. Jo, D.-S. Sea, S.-J. Rho, D.-K. Lee, and H.-K. Baik, 'Liquid crystal alignment capabilities on a new diamond-like caebon thin film layer', Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 41, p. L654, 2002 

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