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SPDT 단일고주파집적회로 스위치용 pHEMT 채널구조 설계
Design of pHEMT channel structure for single-pole-double-throw MMIC switches 원문보기

韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.14 no.4, 2005년, pp.207 - 214  

문재경 (한국과학기술원 신소재공학과 고체소자연구실) ,  임종원 (한국전자통신연구원 기반기술연구소 고속집적회로연구부) ,  장우진 (한국전자통신연구원 기반기술연구소 고속집적회로연구부) ,  지흥구 (한국전자통신연구원 기반기술연구소 고속집적회로연구부) ,  안호균 (한국전자통신연구원 기반기술연구소 고속집적회로연구부) ,  김해천 (한국전자통신연구원 기반기술연구소 고속집적회로연구부) ,  박종욱 (한국과학기술원 신소재공학과 고체소자연구실)

초록
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본 연구에서는 스위치, 위상변위기, 감쇄기등 전파제어회로를 설계 및 제작할 수 있는 pHEMT스위치 소자에 적합한 에피구조를 설계하였다. 고성능의 스위치 소자를 위한 pHEMT 채널층 구조는 이중 면도핑층을 가지며 사용 중 게이트 전극의 전계강도가 약한 깊은 쪽 채널층의 Si 면농도가 상층부보다 약 1/4정도 낮을 경우 격리도등 우수한 특성을 보였다. 설계된 에피구조와 ETRI의 $0.5\mu$m pHEMT MMIC 공정을 이용하여 2.4GHz 및 5GHz 대역 표준 무선랜 단말기에 활용 가능한 SPDT Tx/Rx MMIC 스위치를 설계 및 제작하였다. 제작된 SPDT형 스위치는 주파수 6.0 GHz, 동작전압 0/-3V에서 삽입손실 0.849 dB, 격리도 32.638 dB, 그리고 반사손실 11.006 dB의 특성을 보였으며, 전력전송능력인 $P\_{1dB}$는 약 25dBm, 그리고 선형성의 척도인 IIP3는 42 dBm 이상으로 평가되었다. 이와 같은 칩의 성능은 본 연구에서 개발된 SPDT 단일고주파집적회로 스위치가 2.4GHz뿐만 아니라 SGHB 대역 무선랜 단말기에 활용이 충분히 가능함을 말해준다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

This paper presents a channel structure for promising high performance pseudomorphic high electron mobility transistor(pHEMT) switching device for design and fabricating of microwave control circuits, such as switches, phase shifters, attenuators, limiters, for application in personal mobile communi...

주제어

#단일폴이중쓰루(SPDT)   #알에프 스위치   #단일고주파집적회로   #피헴트   #무선랜  

참고문헌 (9)

  1. Kai Chang, Inder Bahl, and Vijay Nair. RF and Microwave Circuit and Component Design for Wireless Systems (New York John Wiley, 2002), Chap. 7 

  2. S. Pacheco, C. T. Nguyen, and L .P. B. Kathehi, IEEE MTT-S Digest, 1569 (1998) 

  3. Yalcin Ayasli, Microwave Journal, Nov. 61 (1982) 

  4. H. Uda, et. al., GaAs IC Symp., 247 (1993) 

  5. M. Tutt, et. al., GaAs IC Symp., 293 (1988) 

  6. R. Gotzfried, et. al., IEEE MTT-S Digest, 651 (1996) 

  7. H. Tosaka, et. al., IEEE MTT-S Digest, AS (2003) 

  8. 문재경, 지홍구, 안호균, 김해천, The 11th Korean Conference on Semiconductors, 479 (2004) 

  9. 문재경, 지홍구, 안호균, 김해천, 박종욱, The 12th Korean Conference on Semiconductors, 191 (2005) 

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