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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.18 no.2, 2005년, pp.164 - 168
신영화 (경원대학교 전기전자공학부) , 권상직 (경원대학교 전기전자공학부) , 윤영수 (건국대학교 신기술융합학과)
Piezoelectric ZnO thin films were for the first time formed on SiO
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Frans C. M. and Van De Pol, 'Thin-film ZnO-properties and applications', Ceramic Bulletin, Vol. 69, No. 12, p. 1959, 1990
N. D. Hoivik, 'Atomic layer deposited protective coatings for micro-electromechanical systems', Sensor and Actuators, Vol. A103, No. 1-2, p. 100, 2003
A. W. Ott and R. P. H. Chang, 'Atomic layercontrolled growth of transparent conducting ZnO on plastic substrates', Materials Chemistry and Physics, Vol. 58, No. 2, p. 132, 1999
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Y. E. Lee, S. G. Kim, Y. J. Kim, and H. J. Kim, 'Effects of oblique sputtering on microstructrual modification of ZnO thin films', J. Vac. Sci. Technol, Vol. A15, No. 3, p. 1194, 1997
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