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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.14 no.1, 2005년, pp.35 - 39
심영석 (한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부) , 정준호 (한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부) , 손현기 (한국기계연구원 첨단산업기술 연구부) , 이응숙 (한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부) , 방영매 (목포대학교 기계공학과) , 이상찬 (목포대학교 기계공학과)
In the UV-NIL process using an elementwise patterned stamp (EPS), which includes channels formed to separate each element with patterns, low-viscosity resin droplets with a nano-liter volume are dispensed on all elements of the EPS. Following pressing of the EPS, the EPS is illuminated with UV-light...
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