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대면적 미세 형상의 측정/검사 시스템
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한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.22 no.5 = no.170, 2005년, pp.21 - 27  

김승우 (한국과학기술원 기계공학부) ,  김영식 (한국과학기술원 기계공학부)

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참고문헌 (20)

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  19. Schnell, U., Dandliker, R., Gray, S., 'Dispersive white-light interferometry for absolute distance measurement with dielectric multilayer systems on the target,' Optics Letters, Vol. 21, No.7, pp. 528-530, 1996 

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