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펄스 DC 마그네트론 스퍼터링법에 의한 Zn1-xCoxO 박막의 미세조직 및 자기적 특성
Microstructure and Magnetic Properties of Zn1-xCoxO Film Prepared by Pulsed DC Magnetron Sputtering 원문보기

한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.42 no.3 = no.274, 2005년, pp.211 - 217  

고윤덕 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ,  고석배 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ,  최문순 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ,  태원필 (인하대학교 소재 연구소) ,  김기출 (한국전자통신연구소) ,  김종민 ((주) 아프로 R&D) ,  서수정 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터) ,  김용성 (성균관대학교 정보통신용 신기능성 소재 및 공정연구센터)

초록
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펄스 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 Co농도 변화에 따라 유리 기판 위에 ZnJ-xcoxo 박막을 제조하였다. Co 농도의 증가에 따라 $Zn_{1-x}Co_{x}O$ 박막의 c축 결정 배향성은 향상되었다. 표면 형상 분석을 통하여 매우 치밀한 박막이 성장되었음을 찰 수 있었다. 박막의 UV-visible투과율 측정 결과, $Co^{2+}$ 이온에 의한 sp-d상호교환 작용과 d-d 천이를 확인할 수 있었다. $Zn_{1-x}Co_{x}O$ 박막의 비저항은 $10^{-2}\~10^{-3}\;\Omega{\cdot}cm$의 값을 가지며 Co농도의 증가에 따라 박막의 비저항은 증가하였고, 특히 $30\;at\%$ Co에서는 박막의 결정성 저하로 인하여 급격한 비저항 증가가 발생하였다. X-ray photoelecoon specooscopy분석을 통해 Co와 O 간의 결합 상태를 확인하였으며, alternating gradient magnetometer측정 결과 $Zn_{1-x}Co_{x}O$ 박막의 상온 강자성 치력 현상을 관찰할 수 있었다. 낮은 비저항 및 상온 강자성 이력 특성을 갖는 $Zn_{1-x}Co_{x}O$ 박막은 자성 반도체 소자로의 응용 가능성을 나타내었다 .

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

[ $Zn_{1-x}Co_{x}O$ (x=0-0.3) films were grown on Corning 7059 glasses by asymmetrical bipolar pulsed dc magnetron sputtering. The c-axis orientation along (002) plane was enhanced with increasing Co concentration. The $Zn_{1-x}Co_{x}O$ films are grown with fibrous grains of ti...

주제어

참고문헌 (28)

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