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[국내논문] Pd-black 촉매금속 이용한 고성능 MISFET 형 수소센서
MISFET type H2 sensor using pd-black catalytic metal gate for high performance 원문보기

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.15 no.2, 2006년, pp.90 - 96  

강기호 (경북대학교 전자공학과) ,  조용수 (경북대학교 전자공학과) ,  한상도 (한국에너지기술연구원) ,  최시영 (경북대학교 전자공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

We have fabricated the Pd-blck/NiCr gate MISFET-type $H_2$ sensor to detect the hydrogen in atmosphere. A differential pair-type structure was used to minimize the intrinsic voltage drift of the MISFET. The Pd-black film was deposited in the argon environment by thermal evaporation. In or...

Keyword

#Hydrogen sensor   #Pd-black/NiCr gate MISFET   #differential pair-type  

참고문헌 (12)

  1. I. Lundstrom, S. Shivaraman, and C. Svensson, 'A hydrogen-sensitive Pd-gate MOS transistor', J. Appl. Phys., vol. 46, pp. 3876-3881, 1975 

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  2. I. Lundstrom, S. Shivaraman, C. Svensson, and L. Lundqvist, 'A hydrogen-sensitive MOS field-effect transistor', Appl. Phys. Lett., vol. 26, pp. 55-56, 1975 

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  3. I. Lundstrom, A. Spetz, F. Winquist, U. Ackelid, and H. Sundgren, 'Catalytic metals and field-effect devices-a useful combination', Sensors and Actuators, vol. Bl, pp. 15-20, 1990 

  4. S.-Y. Choi, K. Takahashi, M. Esashi, and T. Matsuo, 'Low drift Pd/Pt gate MISFET hydrogen sensor', in Dig. Annul. Conf. IECE, Japan, no. 313, 1985 

  5. K. Dobos, M. Armgarth, G. Zimmer, and I. Lundstrom, 'The influence of different insulators on palladium gate metal insulator semiconductor hydrogen sensors', IEEE Trans. on Electron Devices, vol. ED-31, pp. 508-510, 1984 

  6. S.-Y. Choi, K. Takahashi, M. Esashi, and T. Matsuo, 'Stabilization of MISFET hydrogen sensors', Sensors and Actuators, vol. 9, pp. 353-361, 1986 

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  7. F. Winquist and I. Lundstrom, 'Thin metal filmoxide-semiconductor structures with temperaturedependent sensitivity for unsaturated hydrocarbons', Sensors and Actuators, vol. 12, pp. 255-261, 1987 

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  8. 백태성, 이재곤, 최시영, '유중 용존 수소감지를 위한 Pd/Pt gate MISFET 센서의 제조와 그 특성', pp. 41-46, 1996 

  9. 김갑식, 이재곤, 함성호, 최시영, '유중 수소감지를 위한 Pd/NiCr 게이트 MISFET 센서의 제작', 센서학회지, 제6권, 제3호, pp. 50-56, 1997 

  10. T. S. Beak, J. G. Lee, and S. Y. Choi, 'Detection of hydrogen from gases dissolved in transformer oil by Pd/Pt MISFET', Transducer 95, pp. 749-751, 1995 

  11. T. John and H. Harry, 'Low angle X-ray diffraction of colloidal gold and carbon black', J. Am. Chem. Soc., vol. 72, pp. 1-7, 1951 

  12. W. Lang, Kuhl, and E. Obermeier, 'A thin-film bolometer for radiation thermometry at ambient temperature', Sensors and Actuators, A21-A23, pp. 473-477, 1990 

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