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NTIS 바로가기大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. A. A, v.30 no.12 = no.255, 2006년, pp.1611 - 1617
이동연 (한국과학기술원 기계공학과) , 김동민 (한국과학기술원 기계공학과) , 권대갑 (한국과학기술원 기계공학과)
A compact and two-dimensional atomic force microscope (AFM) using an orthogonal sample scanner, a calibrated homodyne laser interferometer and a commercial AFM head was developed for use in the nano-metrology field. The x and y position of the sample with respect to the tip are acquired by using the...
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