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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.16 no.2, 2006년, pp.75 - 79
최은석 ((주)실트론 기술연구소) , 배소익 ((주)실트론 기술연구소)
The effect of ozone and/or ultrasound treatments on the efficiency of slurry removal in post sliced cleaning (PSC) of silicon ingot was studied. Efficiency of slurry removal was evaluated as functions of time, temperature and surfactant with DOE (Design of Experiment) method. Residual slurries were ...
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