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NTIS 바로가기Transactions on electrical and electronic materials, v.7 no.3, 2006년, pp.108 - 111
Seo, Yong-Jin (Department of Electrical Engineering, Daebul University) , Park, Sung-Woo (Department of Electrical Engineering, Daebul University) , Lee, Woo-Sun (Department of Electrical Engineering, Chosun University)
The oxidizer-induced corrosion state and microstructure of surface passive metal-oxide layer greatly influenced on the removal rate of tungsten film according to the slurry chemical composition of different mixed oxidizers. In this paper, the actual polishing mechanism and pH-potential equilibrium d...
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