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NTIS 바로가기한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.39 no.3, 2006년, pp.142 - 146
임종혁 (신소재공학과, 성균관대학교) , 김경남 (신소재공학과, 성균관대학교) , 염근영 (신소재공학과, 성균관대학교)
A novel internal-type linear inductive antenna, which we refer to as a double comb-type antenna, was developed for a large-area plasma source with substrate size of
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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