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제안 방법
- ICP 장비의 안테나 코일 회전수를 1회, 4회로 구성하여 각각을 Ar 가스에 대하여 시뮬레이션을 진행하였다. 유리 기판 1cm 위에서 플라즈마의 전자 밀도, 이온 선속 그리고 전자온도의 균일도를 비교, 분석하였다.
- 안테나 구조는 ICP 장비의 성능을 결정하는데 있어 매우 중요한 요소이다. 공정 및 성능 최적화를 위해서 장비구성에 따른 플라즈마 특성을 측정하기 위해 안테나 구조에 따른 플라즈마 시뮬레이션을 진행하였다.
- p>디스플레이용 ICP 장비에서 Ar 플라즈마를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 진행하였다. 안테나 코일의 회전수에 따른 플라즈마 변수들을 비교하였다.
- p>디스플레이용 ICP 장비에서 Ar 플라즈마를 사용하여 플라즈마 시뮬레이션을 진행하였다. 안테나 코일의 회전수에 따른 플라즈마 변수들을 비교하였다. 1-turn과 4-turn의 플라즈마 밀도, 온도, 전위차의 공간분포들을 비교한 결과 4-turn이 균일도 측면에서 유리함을 확인 할 수 있었다.
- ICP 장비의 안테나 코일 회전수를 1회, 4회로 구성하여 각각을 Ar 가스에 대하여 시뮬레이션을 진행하였다. 유리 기판 1cm 위에서 플라즈마의 전자 밀도, 이온 선속 그리고 전자온도의 균일도를 비교, 분석하였다.
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