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논문 상세정보

디지털 홀로그래피 현미경과 위상 펼침을 이용한 3차원 측정

3-Dimensional Measurement using Digital Holographic Microscope and Phase Unwrapping

초록

마이크로미터 이하 물체의 2차원 및 영상과 3차원 영상을 동시에 측정하기 위하여 off-axis 투과형 디지털 홀로그래피 현미경을 구성하였다. 그리고 3차원 영상을 얻기 위하여 Mask-Cut 위상 펼침 알고리즘을 사용하였다. 측정 결과 2차원 상에는 0.8 $\mu$m 이하의 문양도 측정할 수 있음을 확인하였다. 그리고 마이크로미터 이하 물체의 2차원 영상과 3차원 영상을 동시에 측정 할 수 있음을 확인하였다.

Abstract

We have reconstructed 3-dimensional images by using the digital holographic microscope and the Mask-cut phase unwrapping algorithm. Off-axis holograms recorded with a magnified image of the microscopic object lens and reference beam are numerically reconstructed in amplitude and phase image by the Fresnel diffraction approximation. We have simultaneously reconstructed 2-dimensional and 3-dimensional images of the sub-micrometer objects.

참고문헌 (17)

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  3. G. K. Wernicke, O. Kruschke, N. Demoli, and H. Gruber, 'Investigation of-micro-opto-electro-mechanical components with a holographic microscopic interferometer,' SPIE, vol. 3396, pp. 238-243, 1998 
  4. L. Xu, X. Peng, J. Miao, and K. Asundi, 'Studies of digital microscopic with application to microstructure testing,' Appl. Opt., vol. 40, pp. 5046-5051, 2001 
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  11. E. Cuche, P. Marquet and C. Depeursinge, 'Simultaneous amplitude-contrast and quantitative phase-contrast microscopy by numerical reconstruction of Fresnel off-axis holograms', Appl. Opt., vol. 38, pp. 6994-7001, 1999 
  12. U. Schnars and W. Juepther, Digital Holography (Springer, Heidelberg, Germany, 2005) pp. 21-26 
  13. K. Itoh, 'Analysis of the phase unwrapping problem,' Appl. Opt., vol. 21, pp. 2470-2474, 1982 
  14. J. C. Russ, The Image Processing Handbook (CRC Press, London, 1992) 
  15. R. M. Goldstein, H. A. Zebker, and C. L. Werner, 'Satellite radar interferometry: two-dimensional phase unwrapping,' Radio Science, vol. 23, pp. 713-720, 1988 
  16. D. C. Ghiglia and M. D. Pritt, Two-Dimensional Phase Unwrapping (John Wiley & Sons, New York, USA, 1998) pp. 136-151 
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이 논문을 인용한 문헌 (8)

  1. Cho, Hyung-Jun ; Yu, Young-Hun 2007. "Twin-Image Elimination in In-line Digital Holography Microscope" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, 18(2): 117~121 
  2. Cho, Hyung-Jun ; Lim, Jin-Woong ; Kim, Doo-Cheol ; Yu, Young-Hun ; Shin, Sang-Hoon 2007. "Defect Inspection of Phase Shift Photo-Mask with Digital Hologram Microscope" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, 18(5): 303~308 
  3. Cho, Hyung-Jun ; Kim, Doo-Cheol ; Yu, Young-Hun ; Shin, Sang-Hoon ; Lee, Hyuk-Soo 2009. "Height Measurement by Refractive Index Difference and Digital Holography" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, 20(2): 81~86 
  4. Shin, Sang-Hoon ; Kim, Doo-Cheol ; Yu, Young-Hun 2010. "Study on Digital Holography with Conjugated Hologram" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, 21(4): 146~150 
  5. Yu, Young-Hun 2011. "Study on Error Reduction in Dual Wavelength Digital Holography Using Modified Fine Map" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, 22(3): 129~133 
  6. Shin, Sang-Hoon ; Cho, Hyung-Jun ; Jung, Won-Ki ; Kim, Doo-Cheol ; Yu, Young-Hun 2011. "Study on Digital Holography with Self-Reference Hologram" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, 22(5): 214~218 
  7. Kim, Doocheol ; Shin, Sanghoon ; Yu, Younghun 2013. "Aspheric Lens Measurements by Digital Holographic Microscopy and Liquid" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, 24(6): 318~323 
  8. Lee, Hodong ; Shin, Sanghoon ; Yu, Younghun 2013. "Measurement of Wafer Deformation using Deflectometry" 한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, 24(6): 324~330 

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