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Improvement of Resonance Characteristics by Post-Annealing in FBAR Devices 원문보기

International journal of maritime information and communication sciences, v.5 no.4, 2007년, pp.320 - 323  

Lee, Jae-Young (School of Engineering, Information and Communications University(ICU)) ,  Mai, Linh (School of Engineering, Information and Communications University(ICU)) ,  Yoon, Gi-Wan (School of Engineering, Information and Communications University(ICU))

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

This paper presents the resonance characteristics of the ZnO-based FBAR devices with multilayered Bragg reflectors with Cr adhesion layer inserted between $SiO_2$ and W layers. Due to the post- annealing, the return loss ($S_{11}$) and series/parallel quality factor are signifi...

주제어

#FBAR   #return loss   #quality factor   #annealing  

AI 본문요약
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제안 방법

  • 3 pm-thick top electrode (Al). The three different kinds of the top electrode patterns were completed by the lift-off processing to strip off the remaining PR layers. The top electrode patterns of FBAR resonators are shown in Fig.

대상 데이터

  • In this experiment, the ZnO-based FBAR devices are composed of the piezoelectric ZnO film sandwiched between the top and bottom electrodes (Al) deposited on 5-layered W/SiO2 Bragg reflector. In order to fabricate each layer, various kinds of machines were employed such as P5000 TEOS CVD, Metal Sputter, and E-gun evaporator.
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참고문헌 (7)

  1. Menneth M. Lakin, Gerald R. Kline, and Kevin T. McCarron, 'Development of Miniature Filters for Wireless Applications', IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. Vol. 43, No. 12, December 1995, pp.2933-2939 

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  2. Motoaki Hara, Jan Kuypers, Takashi Abe and Masayoshi Esashi, 'MEMS Based Thin Film 2GHz Resonator for CMOS Integration', 2003 IEEE MTTS Digest, pp.1797 -1800, 2003 

  3. Jae Y. Park, Hee C. Lee, Kyeong H. Lee, Heon M. Lee, Young J. Ko, Jin H. Shin, Sun H. Moon, and Jong U. Bu, 'Micromachined FBAR RF Filter for Advanced Handset Applications', 2003 IEEE int. conf. on solid state sensors, Actuators, and Microsystems, pp.911-914, 2003 

  4. Dong-Hyun Kim, Munhyuk Vim, Dongkyu Chai, and Giwan Yoon, 'Improvements of resonance characteristics due to thermal annealing of Bragg reflectors in ZnO-based FBAR devices', Electronics Letters, Vol.39, No. 13, pp.962-964, June 26. 2003 

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  5. Munhyuk Yim, Dong-Hyun Kim, Dongkyu Chai, and Giwan Yoon, 'Significant resonance characteristic improvements by combined use of thermal annealing and Co electrode in ZnO-based FBARs', Electronics Letters, Vol. 39, No. 23, pp.1638-1639, Nov. 13, 2003 

    상세보기 crossref

  6. Linh Mai, Mun-Hyuk Yim, Giwan Yoon, and Dong-Hyun Kim, 'Dependence of Resonance Characteristic on Thermal annealing in ZnO-based FBAR Devices', International Journal of KIMICS, Vol. 2, No.3, Sep. 2004 

  7. Sang-Hyun Park, Byeng-Chul Seo, Hee-Dae Park, and Giwan Yoon, 'Film Bulk Acoustic Resonator Fabrication for Radio Frequency Filter Applications', Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 39, pp.4115-4119, 2000 

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