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355nm UV 레이저를 이용한 구리 박판 가공 시 어블레이션에 관한 연구
A Study on Laser Ablation of Copper Thin Foil by 355nm UV Laser Processing 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.24 no.2 = no.191, 2007년, pp.134 - 139  

오재용 (부산대학교 대학원) ,  신보성 (부산대학교 ERC)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Usually nanosecond pulsed laser processing of metal is mainly affected by the thermal ablation. Many studies of the theoretical analysis and modeling to predict the laser ablation of metal are suggested on the basis of the photothermal mechanism at higher laser fluence. In this paper, we investigate...

주제어

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문제 정의

  • 본 연구는 레이저 파장 355 nm DPSS UV 레이저를 이용하여 Cu 가공 시 어블레이션의 수치적 해석을 수행하고 실험적으로 검증하였다. 이를 통한 결과를 정리하면 다음과 같다.

가설 설정

  • H : Laser fluence per puseQ/cm?)
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참고문헌 (15)

  1. Kim, J. G., Chang, W. S., Shin, B. S., Chang, J. W. and Whang, K. H., 'Blind via hole drilling using DPSS UV laser,' Journal of Korean Society of Laser Processing, Vol. 6, No. 1, pp. 9-16, 2003 

  2. Shin, B. S., Kim, J. G., Chang, W. S. and Whang, K. H., 'Rapid manufacturing of 3D micro products by UV laser ablation and phase change filling,' Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 22, No. 11, pp. 196-201, 2005 

  3. Yoon, K. K., Lee, S. K., Kim, J. G., Shin, B. S., Choi, D. S., Whang, K. H. and Park, J. Y., 'Laser beam application and technology in micro machining,' Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 17, No. 7, pp. 27-35, 2000 

  4. Shin, B. S., Yang, S. B., Chang, W. S., Kim, J. G. and Kim, J. M., 'Rapid manufacturing of 3D-shaped microstructures by UV laser ablation,' Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 21, No. 7, pp. 30-36, 2004 

  5. Oh, B. K. and Kim, D. S., 'Numerical simulation of nanosecond pulsed laser ablation in air,' Journal of Korean Society of Laser Processing, Vol. 6, No. 3, pp. 37-45, 2003 

  6. Shin, D. S., Lee, J. H., Suh, J. and Kim, T. H., 'Excimer laser induced ablation of PMMA and PET,' Journal of Korean Society of Laser Processing, Vol. 6, No. 1, pp. 33-40, 2003 

  7. Yoon, K. K. and Bang, S. Y., 'Modeling of polymer ablation with excimer lasers,' Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 22, No. 9, pp. 60-68, 2005 

  8. Liu, Z. G., Song, H. W., Zheng, Z. H., Lu, S. Z., Yu, L. X. and Yang, L. M., 'Femtosecond laser induced photochemical reaction and configuration change of silver nanorod clusters in aqueous solution,' Colloids and Surfaces A: Physicochem. Eng. Aspects, Vol. 275, pp. 69-72, 2006 

  9. Hashida, M., Semerok, A. F., Gobert, O., Petite, G., Izawa, Y. and Wagner, J. F. 'Ablation threshold dependence on pulse duration for copper,' Applied Surface Science, Vol. 197-198, pp. 862-867, 2002 

  10. Mannion, P. T., Magee, J., Coyne, E., O'Connor, G. M. and Glynn, T. J., 'The effect of damage accumulation behaviour on ablation thresholds and damage morphology in ultrafast laser micromachining of common metals in air,' Applied Surface Science, Vol. 233, pp. 275-287, 2004 

  11. Srinivasan, V., Smrtic, M. A. and Babu, S. V., 'Excimer Laser Etching of Polymers,' Journal of Applied Physics, Vol. 59, No. 11, pp. 3861-3867, 1986 

  12. Chen, T. C. and Darling, R. B., 'Parametric studies on pulsed near ultraviolet frequency tripled Nd:YAG laser micromachining of sapphire and silicon,' Journal of Materials Processing Technology, Vol.169, pp.214-218, 2005 

  13. Tunna, L., Kearns, A., O'Neill, W. and Sutcliffe, C. J., 'Micromachining of copper using Nd:YAG laser radiation at 1064, 532, and 355 nm wavelengths,' Optics & Laser Technology, Vol. 33, pp. 135-143, 2001 

  14. Bauerle, D., Himmelbauer, M. and Arenholz, E., 'Pulsed laser ablation of polyimide: fundamental aspects,' Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry, Vol. 106, pp. 27-30, 1997 

  15. Zeng, D. W., Yung, K. C. and Xie, C. S., 'UV Nd:YAG laser ablation of copper: chemical states in both crater and halo studied by XPS,' Applied Surface Science, Vol. 217, pp. 170-180, 2003 

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