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355nm UV 레이저 가공에 의한 폴리이미드의 광화학적 및 광열적 어블레이션에 관한 연구
Photothermal and Photochemical Investigation on Laser Ablation of the Polyimide by 355nm UV Laser Processing 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.24 no.4 = no.193, 2007년, pp.147 - 152  

오재용 (부산대학교 대학원) ,  신보성 (부산대학교 ERC)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

UV laser ablation of polyimide is a combination of photochemical and photothermal mechanism. Photochemical mechanism is that molecular bonds are broken by photon energy and photothermal is evaporation and melt expulsion. When the laser processing, the etching depth needs to be calculated for predict...

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문제 정의

  • 본 연구는 레이저 파장 355nm DPSS UV 레이저를 이용하여 PI 가공 시 어블레이션의 수치적 해석을 수행하고 실험적으로 검증하였다. 이를 통한 결과를 정리하면 다음과 같다.
  • 본 연구에서는 최근 활용이 증가되고 있는 폴리이미드(PI)에 대하여 355nm DPSS UV 레이저 가공 시 어블레이션 해석을 수행하였다. 실험에 의한 가공 결과 및 선행 연구를 기초로 하여 수치적 모델의 파라미터값을 계산하였으며, 정립된 식과 실제 가공의 차이를 전자현미경 사진과 비교하였다.
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참고문헌 (14)

  1. Kim, J. G., Chang, W. S., Shin, B. S., Chang, J. W. and Whang, K. H., 'Blind via hole drilling using DPSS UV laser,' Journal of Korean Society of Laser Processing, Vol. 6, No.1, pp. 9-16, 2003 

  2. Shin, B. S., Kim, J. G., Chang, W. S. and Whang, K. H., 'Rapid manufacturing of 3D micro products by UV laser ablation and phase change filling,' Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 22, No. 11, pp. 196-201, 2005 

  3. Shin, B. S., Yang, S. B., Chang, W.S., Kim, J. G. and Kim, J. M., 'Rapid Manufacturing of 3D-Shaped Microstructures by UV Laser Ablation,' Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 21, No.7, pp. 30-36, 2004 

  4. Oh, B. K. and Kim, D. S., 'Numerical simulation of nanosecond pulsed laser ablation in air,' Journal of Korean Society of Laser Processing, Vol. 6, No.3, pp. 37-45, 2003 

  5. Bang, S. Y., 'Effects of beam parameters on excimer laser ablation,' Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 22, No.7, pp. 38-46, 2005 

  6. Yoon, K. K. and Bang, S. Y., 'Modeling of polymer ablation with excimer lasers,' Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 22, No.9, pp. 60-68, 2005 

  7. Srinivasan, V., Smrtic, M. A. and Babu, S. V., 'Excimer Laser Etching of Polymers,' Journal Applied Physics, Vol. 59, No. 11, pp. 3861-3867, 1986 

  8. Hauer, M., Funk, D. J., Lippert, T. and Wokaun, A., 'Laser ablation of polymers studied by nsinterferometry and ns-shadowgraphy measurements,' Applied Surface Science, Vol. 208-209, pp. 107-112, 2003 

  9. Luk'yanchuk, B., Bityurin, N., Himmelbauer, M. and Arnold, N., 'UV-laser ablation of polyimide: from long to ultra-short laser pulses,' Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B: Beam Interactions with Materials and Atoms, Vol. 122, No. 3, pp. 347-355, 1997 

  10. Yung, K. C., Zeng, D. W. and Yue, T. M., 'High repetition rate effect on the chemical characteristics and composition of Upilex-S polyimide ablated by a UV Nd:YAG laser,' Surface and Coatings Technology, Vol. 160, No. 1, pp. 1-6, 2002 

  11. Yung, K. C., Liu, J. S., Man, H. C. and Yue, T. M., '355nm Nd:YAG laser ablation of polyimide and its thermal effect,' Journal of Materials Processing Technology, Vol. 101, No. 1, pp.306-311, 2000 

  12. Yung, K. C., Zeng, D. W. and Yue, T. M., 'XPS investigation of Upilex-S polyimide ablated by 355nm Nd:YAG laser irradiation,' Applied Surface Science, Vol. 173, No.3, pp. 193-202, 2001 

  13. Aguilar, C. A., Lu, Y., Mao, S. and Chen, S., 'Direct micro-patterning of biodegradable polymers using ultraviolet and femtosecond lasers,' Biomaterials, Vol. 26, No. 36, pp. 7642-7649, 2005 

  14. Bauerle, D., Himmelbauer, M. and Arenholz, E., 'Pulsed laser ablation of polyimide : fundamental aspects,' Journal of Photochemistry and Photobiology A: Chemistry, Vol. 106, No.1, pp. 2730, 1997 

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