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스핀코팅으로 금속물질을 도핑한 TiO2박막의 광학적 특성
Optical properties of metal doped TiO2 thin films prepared by spin coating-pyrolysis process 원문보기

한국안광학회지 = Journal of Korean Ophthalmic Optics Society, v.12 no.1 = no.26, 2007년, pp.17 - 22  

황규석 (남부대학교 의료광학과) ,  김재민 (건양대학교 안경광학과) ,  정주현 (건양대학교 안경광학과)

초록
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Ti-나프텐산염과 금속을 출발원료로 사용하고, 스핀코팅-열분해법을 이용하여 실리카 유리위에 박막을 제조하였다. 도포된 박막은 $500^{\circ}C$ 공기에서 10min동안 열처리하였다. 이를 5회 코팅한 박막은 마지막으로 공기에서 $600^{\circ}C$에서 30min으로 하였다. 박막의 특성을 분석하기 위하여 X-선 회절 분석, 전자현미경, UV스펙트럼을 이용하여 분석하였다. 밴드갭에서 가장 큰 장파장 쪽으로 이동은 Fe을 도핑한 $TiO_2$ 박막이었다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Metal-doped $TiO_2$ thin films were prepared on soda-lime-silica glass substrates by using a spin coating-pyrolysis process. As-deposited films were prefired at $500^{\circ}C$ or 10 min in air. Five-coated films were finally annealed at $600^{\circ}C$ for 30 min in a...

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  • XRD결과로부터 금속을 도핑한 TiO2구조에서 TiO2의 결정구조가 이루어졌기 때문에 산소공극의 제이상구조가 없다고 가정할 수 있다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
이산화티타늄의 특징은? 이산화티타늄(TiO2)은 가시광선과 근자외선 영역에서 높은 투과율과 굴절률을 가지며, 화학적 안정성이 뛰어난 무기물 중의 하나이며, 이를 박막의 형태로 만들어 이용할 경우에는 더욱 다양한 분야에 응용이 가능한 물질이다[1-2]. 특히 TiO2는 유리나 타일 등에 코팅하여 자외선을 조사하면 자기정화, 항균, 탈취 등의 기능을 얻는데 사용할 수 있다[3-4].
유리 기판에 투과율이 높고 나노 결정이 분포하는 TiO2 박막을 제조하게 된다면, 다양한 광촉매 분야에 응용이 가능할 것으로 기대하는 이유는? 또한 TiO2는 산소분압에 따라 전기저항이 변하는 반도체적 성질을 이용하여, 산소, 수소, 일산화탄소 및 수증기 등의 가스 검출기로도 응용이 가능하다[5-7]. 이들 소자로의 응용에 있어서, 나노 결정을 박막의 표면에 분포 시킨다면, 표면적의 증가에 따라 효율성의 향상을 기대 할 수 있을 것이다. 따라서, 유리 기판에 투과율이 높고 나노 결정이 분포하는 TiO2 박막을 제조하게 되면, 다양한 광촉매 분야에 응용이 가능할 것이다.
TiO2 박막의 제조법에는 어떠한 것들이 있는가? TiO2 박막의 제조법으로는 화학 기상 증착법 (Chemical vapor deposition)[8], pulsed laser deposition, 이온 스퍼터링(Ion sputtering), 열산화법(Thermal oxidation)과 졸-겔법(Sol-gel method) 등이 널리 연구되어져 왔다. 이들 여러 가지 방법들 중에서, 졸-겔법은 대부분 출발원료로 금속 알콕사이드(Metal alkoxide)용액을 이용하여 TiO2 박막을 제조하는 방법으로서 많은 연구가 수행되었지만, 알콕사이드가 공기 중에서 불안정하여 취급이 어렵고, 코팅용액의 제조시에 가수분해(Hydrolysis), 중합반응(Polymerization) 및 축합반응(Condensation)등의 복잡한 화학적 반응을 일으키므로 졸에 첨가하는 용매나 촉매 등의 선택에 신중을 기해야만 한다.
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