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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.20 no.6, 2007년, pp.520 - 526
이붕주 (인하대학교 전기공학과 기능성박막연구실)
In order to acquire fundamental informations to fabricate high precision thin film resistors, NiCr/NiCrSi alloy films were prepared using Ni and Cr targets. Effect of composition on the electrical properties of the NiCr/NiCrSi alloy film were then investigated. Considering the effect of Si doping on...
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K. Matsuda, 'Super precision metal film resistors', National Tech. Rep., Vol. 26, No. 2, p. 283, 1980
E. Schippel, 'Modification test of vacuum deposition Ni/Cr films with Mn and Si for thin film resistors', Kristall und Technik, Vol. 15, No.8, p. 917, 1980
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