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제안 방법
- 를 구하고 식 (1)(2)에 의해 비저항을 계산하는 원리이다. 즉 그림 1의 (a)와 같이 시료의 1, 2전극에 전류를 공급하고, 마주보는 3, 4 전극의 위치에서 전위차를 측정하여 RA를 구한다. 또한 그림 1의 (b)와 같이 시료의 1, 4 전극에 전류를 공급하고, 마주보는 2, 3 전극의 위치에서 전위차를 측정하여 RB를 구한다[3].
- van der Puaw method에 의한 시료의 전극위치는 그림 2의 1, 2, 3, 4와 같으며 측정전극은 그림 3의 전극 구 성장치(500 mm × 500 mm)에 설치하고 그림 4의 측정기를 사용하여 면저항을 측정하였다.
- 이 측정 방법은 정밀 정확도가 뛰어나 대부분 FPP method[1,2]의 측정기를 사용하고 있다. 그러나 시료의 크기와 측정위치에 따라 측정의 번거로움이 수반되기 때문에 본 연구는 보다 쉽게 대면적 시료의 면저항을 쉽게 측정할 수 있는 방법으로 van der Puaw method[3]를 적용한 면저항 측정기를 개발하였다. 이 측정기의 장점으로는 대면적의 박막 시료의 면저항을 단한 번의 측정으로 알 수 있기 때문에 측정시간을 크게 단축시킬수 있다.
데이터처리
- 이 측정기의 장점으로는 대면적의 박막 시료의 면저항을 단한 번의 측정으로 알 수 있기 때문에 측정시간을 크게 단축시킬수 있다. 개발된 면저항 측정기의 성능을 확인하기 위하여 FPP method에 의한 측정결과와 van der Puaw method를 사용하여 측정한 결과를 비교 하였다.
이론/모형
- 스마트폰, 네비게이션, 스마트 TV 등 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 touch panel 및 touch screen의 투명전극으로 널리 사용되는 ITO(Indium Tin Oxide)와 CNT(Carbon Nano Tube)박막의 면저항은 제품공정에서 매우 중요한 요소이다. 면저항 측정은 주로 FPP(Four-Point Probe) method[1,2]에 의한 측정기를 사용한다. 이 측정 방법은 정밀 정확도가 뛰어나 대부분 FPP method[1,2]의 측정기를 사용하고 있다.
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