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NTIS 바로가기한국산업응용학회 논문집 = Journal of The Korean Society of Industrial Application, v.10 no.3, 2007년, pp.179 - 185
최성대 (금오공과대학교 기계공학부) , 정선환 (금오공과대학교 대학원) , 정영관 (금오공과대학교 대학원) , 김기만 (금오공과대학교 대학원) , 홍영배 (금오공과대학교 대학원)
Quartz glass are used in semiconductor industries as the reaction furnace, wafer carrier and accessaries. During the process the quartz glass received compression by direct contact with other quartz glass ware and metal as the form of weight itself and vacuum pressure and fatigue by vibrations cause...
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