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감광성 에칭 레지스트의 잉크젯 인쇄를 이용한 인쇄회로 기판 제작
Fabrication of the Printed Circuit Board by Direct Photosensitive Etch Resist Patterning 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.24 no.5 = no.194, 2007년, pp.97 - 103  

박성준 (삼성전기 중앙연구소 eMD Center) ,  이로운 (삼성전기 중앙연구소 eMD Center) ,  정재우 (삼성전기 중앙연구소 eMD Center)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

A novel selective metallization process to fabricate the fine conductive line based on inkjet printing has been investigated. Recently, Inkjet printing has been widely used in flat panel display, electronic circuits, biochips and bioMEMS because direct inkjet printing is an alternative and cost-effe...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 공정에 대해 간단하게 살펴보면 첫째로, 기판과 에칭 레지스트와의 접착력을 향상시키기 위한 전처리 공정이 있다. 기판 전처리는 기판과 에칭 레지스트와의 접촉면적을 증가시켜 에칭시 박리되지 않도록 하는데 목적이 있다. 두번째 공정은 잉크젯 인쇄 공정이다.
  • 본 연구에서는 노광공정을 대체하기 위한 시도로서 감광성 에칭 레지스트를 잉크젯 인쇄방식으로 기판상에 직접 토출하여 마스크를 형성한 후, 에칭을 통해 인쇄회로 기판을 제작하는 공정의 실현 가능성에 대하여 검토하였다.
  • 본 연구에서는 인쇄회로 기판을 잉크젯 프린팅 공법을 이용하여 제작하는 신공정에 대하여 기초적인 연구 수행을 통해 적용 가능성을 검토하였다. 제안한 전체 공정에 대하여 개괄적으로 고찰하였으며, 최종적으로 75 gm 배선 제작에 성공하였다.

가설 설정

  • 3 에 나타내었다. 점도가 약 10 cPs 가 되는 50 로 가열하여 사용하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (7)

  1. Jawits, M. W., 'Printed Circuit Board Handbook.' McGraw-Hill, 1997 

  2. de Gans, B. J., Duineveld, P. C. and Schubert, U. S., 'Inkjet Printing of Polymers: State of the Art and Future Developments,' Advanced Materials, Vol. 16, No. 3, pp. 203-213, 2004 

  3. Cho, B. O., Ryu, J. H., Hwang, S. W. and Lee, G. R., 'Direct Pattern Etching for Micromachining Applications without the use of a Resist Mask,' Journal of Vacuum Science and Technology B., Vol. 18, pp. 2769-2773, 2000 

  4. Cheng, K., Yang, M. H., Chiu, W., Huang, C. Y., Chang, J. and Ying, T. F., 'Ink-Jet Printing, Self-Assembled Polyelectrolytes and Electroless Plating: Low Cost Fabrication of Circuits on a Flexible Substrate at Room Temperature,' Macromolecular Rapid Communication, Vol. 26, pp. 247-264, 2005 

  5. Cho, B. H., Jeong, H. D. and Jeong, H. W., 'Development of Build-up Printed Circuit Board Manufacturing Process using Rapid Prototyping Technology and Screen Printing Technology,' J. of the KSPE, Vol. 17, No. 2, pp. 130-136, 2000 

  6. Coombs Jr, C. F., 'Printed Circuit Board,' McGraw-Hill, 1995 

  7. Cakir, O., 'Copper Etching with Cupric Chloride and Regeneration of Waste Etchant,' Journal of Materials Processing Technology, in press, 2005 

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