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NTIS 바로가기한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.40 no.4, 2007년, pp.185 - 189
김태선 (가톨릭대학교 정보통신전자공학부) , 김우석 (세종대학교 전자공학과) , 김동환 (서울산업대학교 기계설계자동화공학부) , 김병환 (세종대학교 전자공학과)
A scanning electron microscope (SEM) is a complex system, consisting of many sophisticated components. For a systematic characterization, a
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R. E. Lee, Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis, Prentice Hall, 1993
L. Reimer, Scanning Electron Microscopy - Physics of Image Formation and Microanalysis, Springer, Berlin, 1998
H. W. Mook, P. Kruit, Nucl. Instr. and Meth. A, 536 (1999)
G. S. May, J. Huang, C. J. Spanos, IEEE Trans. Semicond. Manufact., 4 (1991) 83
B. Kim, K. Park, Microelectron. Eng., 77 (2005) 150
D. C. Mongomery, Design and Anlaysis of Experiments, Wiley, Singapore, 1992
Minitab, Manual, USA
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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