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주사전자현미경 특성의 통계적 해석
Statistical Analysis of Characteristics of Scanning Electron Microscope 원문보기

한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.40 no.4, 2007년, pp.185 - 189  

김태선 (가톨릭대학교 정보통신전자공학부) ,  김우석 (세종대학교 전자공학과) ,  김동환 (서울산업대학교 기계설계자동화공학부) ,  김병환 (세종대학교 전자공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

A scanning electron microscope (SEM) is a complex system, consisting of many sophisticated components. For a systematic characterization, a $2^4$ full factorial experiment was conducted. The SEM components examined include condenser lens 1 and 2 (denoted as A and B, respectively), and Obj...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구에서는 SEM 특성을 통계적 분석한 결과를 보고하였다. 통계적 분석을 위해 주인자와 인자들 간의 교호작용을 평가하여 SEM 특성, 즉 R에 영향을 크게 미치는 인자들을 확인하였다.
  • 본 연구에서는 모델-기반 SEM 부품의 영향해석에 관한 연구결과를 보고한다. 영향해석은 통계적 기법을 이용하여 분석하였으며, 체계적인 분석을 위해 통계적 실험계획법을 적용하여 SEM 특성 데이터를 수집하였다.
  • 이에 따라 SEM 개발은 다수의 시행착오적인실험에 의존하고 있으며, 이러한 모델의 부재로 인해 SEM 성능을 최적화하기가 매우 어렵다. 연구에서는 이러한 어려움을 극복하기 위해 통계적 또는 지능적 기법을 현재 진행 중인 SEM 개발에 적용해 오고 있으며, 여기에는 SEM 부품의 통계적 또는 지능적 모델링, 모델-기반 SEM 부품의 영향해석과 SEM 특성의 정성적 해석, 그리고 모델-기반 SEM 특성의 최적화 기법 등이 포함된다. 측정기기의 특성분석을 위해 통계적 또는 지능적 분석기법이 적용된 사례는 극히 드물다.
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참고문헌 (7)

  1. R. E. Lee, Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis, Prentice Hall, 1993 

  2. L. Reimer, Scanning Electron Microscopy - Physics of Image Formation and Microanalysis, Springer, Berlin, 1998 

  3. H. W. Mook, P. Kruit, Nucl. Instr. and Meth. A, 536 (1999) 

  4. G. S. May, J. Huang, C. J. Spanos, IEEE Trans. Semicond. Manufact., 4 (1991) 83 

  5. B. Kim, K. Park, Microelectron. Eng., 77 (2005) 150 

  6. D. C. Mongomery, Design and Anlaysis of Experiments, Wiley, Singapore, 1992 

  7. Minitab, Manual, USA 

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