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NTIS 바로가기大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers. B. B, v.31 no.10 = no.265, 2007년, pp.876 - 883
전홍규 (서울대학교 기계항공공학부) , 이준식 (서울대학교 기계항공공학부) , 박병규 (서울대학교 기계항공공학부)
Numerical simulations are conducted for the design of a micro thermal mass air flow sensor (MAFS), which consists of a microfabricated heater and thermopiles on the silicon-nitride (
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Nguyen, N. T., 1997, 'Micromachined Flow Sensors - A review,' Flow Meas. Instrum., Vol. 8, No. 1, pp. 7-16
Ashauer, M., Glosch, H., Hedrich, F., Hey, N., Sandmaier, H. and Lang, W., 1999, 'Thermal Flow Sensor for Liquids and Gases Based on Combinations of Two Principles,' Sensors and Actuators, A 73, pp. 7-13
Buchner, R., Sosna, C., Maiwald, M., Benecke W. and LangW., 2006, 'A high-temperature Thermopile Fabrication Process for Thermal Flow Sensors,' Sensors and Actuators, A 130, pp. 262-266
Sparrow, E. M., Goldstein, R. J. and Jonsson, V. K., 1964, 'Thermal Instability in a Horizontal Fluid Layer : Effect of Boundary Conditions and Non-linear Temperature Profile,' J. Fluid Mechanics, Vol. 18, pp. 513-528
Sabate, N., Santander, J., Fonseca, L., Gracia, I. and Cane, C., 2004, 'Multi-range Silicon Micromachined Flow Sensor,' Sensors and Actuators, A 110, pp. 282-288
Lammerink, T. S. J., Tas, N. R., Elwenspoek, M. and Fluitman, J. H. J., 1993, 'Micro-Liquid Flow Sensor,' Sensors and Actuators, A 37, pp. 45-50
Madou, M. J., 2002, Fundamentals of Microfabrication, Second Edition, CRC Press
Park, B. K., Lee, J. S. and Oh, D. W., 2006, 'Flow Sensing Devices and Micro Mass Flowmeter with Configurations of Cooling Air Channels,' KR Pat., 10-0692072, G01F 1/69
Qiu, L., Hein, S., Obermeier, E., and Schubert, A., 1996, 'Micro Gas-Flow Sensor with Intergated Heat Sink and Flow Guide,' Sensors and Actuators, A 54, pp. 547-551
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