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Most of the electrons emitted from the filament, are captured by the anode. The portion of the electron current that leaves the gun through the hole in the anode is called the beam current. Electron beam probe is called the focused beam on the specimen. Because of the lenes and aperture, the probe c...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 집속 렌즈 1은 스팟 사이즈를 조종하며 사용되는 가속 전압의 크기에 따라 제어 전압의 범위가 달라진다. 가속 전압이 클 수록초점 거리가 길어지는데 이것을 일정한 범위내로 유지하도록 하기 위해서이다. 이 범위는 슬리브 내에서 전자빔의 이동 경로에 기반을 하고 있다.
  • 본 연구는 개발 중인 주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브생성에 관련된 요소들의 제작을 보인다. 또한 가속 전압에 따른 전자빔 전류와 프르브 전류를 측정.
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참고문헌 (8)

  1. Joseph, I. G., Dale, E. N., Patrick, E., David. C. J., Roming. A. D., Charles. E. L., Charles, F., and Eric. L., 1992, Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis, Plenum Press, USA, pp. 21-272 

  2. John, T. L., 1993, ELECTRON BEAM TESTING TECHNOLOGY, Plenum Press, USA, pp. 129-147 

  3. Fritz, J. H., 1986, "Background and application of electron beam test techniques," Vol. 4, pp. 139-157 

  4. Sunjong, L. and Chanhong, L., 2006, "Design of Control Signal Systemization for SEM," KSMTE, pp. 97-100 

  5. 2006, Design Specification for a 30 kV Electron Gun Power Supply, Spellman, UK 

  6. Sunjong, L. and Chanhong, L., 2007, "Hardware Design for the Control Signal Generation of Electron Optic by Focal Length," KSMTE, Vol. 16, No. 5, pp. 96-100 

  7. Hawkes, P. W. and Kasper, E., 1989, Principles of Electron Optics, Academic press, UK 

  8. Mariusz, P., Andrzej, C., Jacek, R., Jerzy, K., Lukasz, O., and Remigusz, R., 2008, "Seperation of imagedistortion sources and magnetic-field measurement in scanning electron microscope(SEM)," Micron, pp. 1-5 

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