최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.25 no.3 = no.204, 2008년, pp.7 - 14
김재구 (한국기계연구원 나노기계연구본부) , 이재종 (한국기계연구원 나노기계연구본부) , 조성학 (한국기계연구원 나노기계연구본부) , 최두선 (한국기계연구원 나노기계연구본부) , 이응숙 (한국기계연구원 나노기계연구본부)
초록이 없습니다.
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
Madou, M. J., "Fundamentals of microfabrication," 2nd Ed., CRC press, pp. 53-57, 2001
이재종, 장원석, "나노스케일 3D형상 패터닝 기술," 물리학과 첨단기술, 제13권 10호, pp.14-19, 2004
Kim, S. T., Yang D. S., Park, H. W. and Kim, T. H., "Technology of semiconductor industry and development of photoresist," Polymer Science and Technology, Vol. 16, No. 1, 2005
Weimann, T., Geyer, W., Hinze, P., Stadler, V., Eck, W. and Golzhouser, A., "Nanoscale patterning of self-assembled monolayers by e-beam lithography," Microelectronic Engineering, Vol. 57-58, pp. 903-907, 2001
Wang, X., Hu, W., Ramasubramaniam, R., Bernstein, G. H., Snider, G. and Lieberman, M., "Formation, Characterization, and Sub-50-nm Patterning of Organosilane Monolayers with Embedded Disulfide Bonds: An Engineered Self-Assembled Monolayer Resist for Electron-Beam Lithography," Langmuir, Vol. 19, pp. 9748-9758, 2003
Lee, J. J., "Development of key technologies for nanoscale shape fabrication-Research report," KOCI, 2006
Boyd, E. J. and Blaikie, R. J., "Three dimensional HSQ structures formed using multiple low energy electron beam lithography," Microelectronic Engineering, Vol. 83, pp. 767-770, 2006
Ishii, Y. and Taniguchi, J., "Fabrication of three-dimensional nanoimprint mold using inorganic resist in low accelerating voltage electron beam lithography," Microelectronic engineering, Vol. 84, pp. 912-915, 2007
KISTI, "Nanotechnology policy brief," KISTI, No. 4, pp. 1-36, 2007
Kim, H. S., Kim, Y. C., Kim, D. W., Ahn, S. J., Jang, Y., Kim, H. W., Seong, D. J., Park, K. W., Park, S. S. And Kim, B. J., "Low energy electron beam microcolumn lithography," Microelectronic Engineering, Vol. 83, pp. 962-967, 2006
Spallas, J. P., Silver, C. S., Muray, L. P., Wells, T. and El-Gomati, M., "A manufacturable miniature electron beam column," Microelectronic Engineering, Vol. 83, pp. 984-989, 2006
http://www.mapperlithography.com/
김기범, 이호신, "전자빔을 이용한 나노 패터닝 기술," 기술동향분석 보고서, KISTI, 2003
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.