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문제 정의
- 다행히, 최근 들어 이러한 미세 구조물의 관찰에 필수적인 장비인 SEM 장비를 국산화하고자 하는 연구가 국내 몇몇 연구기관에 의해활발히 진행 중에 있다1-3 SEM 을 구성하는 여러가지 요소 중 시료로부터 방출된 전자를 검출해내는 전자검출기 (electron detector)는 SEM 의 성능을 좌우하는 중요한 요소 중의 하나이다. 이에, 본논문에서는 SEM 장비의 성공적인 국산화에 일조하고자 SEM 용 전자검출기의 개발에 관한 연구를수행하였으며 그 결과에 대해 기술하고자 한다.
- 본 논문에서는 SEM 용 전자검출기를 설계, 제작하였으며, 제작된 검출기를 이용하여 검출실험을 수행하였다. 또한, 검출기의 부품 중 비교적 고가이고 소모성 부품인 신틸레이터(scintillator)를 자체 제작하였으며, 제작조건이 신틸레이터의 성능에미치는 영향에 관한 실험을 수행하였다.
- 본 연구에서는 외국에서 전량 수입하여 사용하고 있는 검출기 부품 중 소모성 부품이며 비교적고가인 신틸레이터를 개발하고자 신틸레이터 제작및 성능의 최적화에 관한 연구를 수행하였다.
- 차이가 발생한다. 따라서 본 연구에서는형광분말의 침적두께를 변화시키면서 다수의 신틸레이터를 제작하고 이 들을 사용하여 영상 측정실험을 수행함으로써 침적두께가 영상의 질에 미치는 영향을 조사하여 침적두께의 최적화를 도모하였다.
- 이러한 물유리는 신틸레이터의 형광기능및 발생한 광자의 PMT 로의 전달효율이라는 관점에서 보면 하나의 불순물로 생각될 수 있다. 따라서 본 연구에서는 형광분말과 물유리의 질량비(물유리의 양)를 변화시키면서 다수의 신틸레이터를제작하고 이 들을 사용하여 영상 측정 실험을 수행함으로써 물유리의 양이 영상의 질에 미치는 영향을 조사하였다.
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