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펨토초 레이저 금속 가공시 발생하는 열충격 수치계산 프로그램 개발
Development of numerical-computation program to predict thermal shock induced by fs laser processing of meatals 원문보기

한국레이저가공학회지 = Journal of korean society of laser processing, v.11 no.1, 2008년, pp.19 - 24  

오부국 (포항공과대학교 기계공학과) ,  김동식 (포항공과대학교 기계공학과) ,  김재구 (한국기계연구원 지능형 정밀센터) ,  이제훈 (한국기계연구원 지능형 정밀센터)

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It has been recognized that laser dicing of wafers results in low mechanical strength compared to the conventional sawing techniques. Thermal shock generated by rapid thermal loading is responsible for this problem. This work presents a two-dimensional ultra-short thermo elastic model for numerical ...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 따라서 본 연구에서는 높은 플루언스 (fluence; 단위면적당 에너지) 영역까지 확장하여어블레이션을 고려한 계산을 수행하였다. 기초적인 계산결과를 바탕으로 극초단 레이저 펄스에의한 재료의 열탄성 거동을 관찰하고 레이저 가공 시 기계적 손상의 가능성을 검토하였다.
  • 특히 Kaspar는 피코초 펄스가 나노초 펄스에 비하여 훨씬 작은 열적 하중을 발생시킴을 측정하였다[4]. 따라서 본 연구에서는 향후 레이저천공/절단 공정을 최적화 하기 위한 기초 연구로서 펨토초 펄스에 의한 금속 재료의 기계적 거동을 예측하기 위한 수치해석 프로그램을 개발/검증하고자 한다. 극초단 펄스에 의한 응력해석의경우, Falkovsky는 전자와 격자온도의 비평형상태로인한 추가응력항을 유도하여 열적 비평형 하에서 응력거동을 계산하였다[5].
  • 본 연구는 산업자원부 첨단레이저-재료 반응 모사용 전산해석 기법 개발사업의 지원으로 수행되었다.
  • 본 연구를 통해 가공형상 예측을 위한 상폭발모델과 펨토초 레이저 펄스에 의한 재료의 응력해석을 결합한 해석 코드를 개발 및 검증 하였다.

가설 설정

  • 본 연구에서 어블레이션은 상폭발[15]과 파쇄 [6]에 의해서만 일어나는 것으로 가정한다. 상폭발의 어블레이션 조건으로서 스피노달 한계 (spinodal limit; a p! a vr=0)를 사용한다.
  • 상폭발의 어블레이션 조건으로서 스피노달 한계 (spinodal limit; a p! a vr=0)를 사용한다. 상폭발모델은 시편의 온도가 스피노달 한계에 도달하게되면 순간적으로 기화한다고 가정한다. 따라서상폭발과 파쇄에 의한 표면형상을 러Ul=T, p)와같이 표현 할 수 있다(rm: 계면좌표).
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