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Nano 스케일 부품 제조용 In-Line 시스템의 특허동향 분석에 관한 연구

Research for Patent Application Tendency in the In-Line System Manufacturing for Component of Nano Scale

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering v.25 no.6 = no.207 , 2008년, pp.150 - 158  
김성민 (특허청 제어기계심사팀 ) ;  고준빈 ( 국립 한밭대학교 기계설계공학과 ) ;  박희상 ( 충남대학교 기계공학과 대학원 BK21메카트로닉스 사업단)
Abstract

This research considered that the significance of the NT(Nano Technology) which gradually increased the importance of it and investigated the technology development current situation of the Korea, U.S.A, Japanese, Europe. Therefore, in domestic and foreign, this research was widely used. It includes the tendency of the technology about processing methods using the ion beam and electron beam among the In-line system related technique field for the high efficiency energy beam application nano scale manufacturing components. The technique level of Korea, the international trend of technology and cooperation research present condition are dealt in. The information about the checked out of business of research and development of the country consistency and policy establishment try to be provided.

주제어

#나노기술   #이온빔   #전자빔  

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참고문헌 (11)

  1. 1. Lee, C. O., Shin, K. W., Lee, J. S., Cho, S. J., Lee, C. H. and So, J. Y., "Montecarlo Simulation of the Thermal Neutron Reflectometer with Horizontal Sample Geometry for Surface Characterization of Nanostructured thin films," Journal of the Korean Vacuum Society, Vol. 14, No. 3, pp. 119-125, 2005 
  2. 2. Bang, J. H., Kwon, K. H. and Cho, N. G., "Development of an Ultra Precision Machining System Using a Force and Displacement Sensing Module," Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 22, No. 12 pp. 42-50, 2005 
  3. 3. Choi, H. Z., Kang, E. G., Lee, S. W. and Hong, W. P., "Development of Micro Plasma Electrode using Focused Ion Beam," Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 22, No. 5 pp. 175-180, 2005 
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  5. 5. Park, J. W. and Lee, D. W., "Fabrication of Micro Diamond Tip Cantilever for AFM-based Tribo-Nano lithography," Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 23, No. 8 pp. 39-46, 2006 
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