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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.18 no.7, 2008년, pp.373 - 378
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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현재의 성형공정으로 가질 수 있는 MLCC 두께의 한계는? | 1-2) 이러한 MLCC의 기술동향에 따라 생산공정의 개선 및 개발을 통해 유전체층의 박층화와 고적층화가 급속하게 진행되어 왔다. MLCC는 수 µm 이내의 두께를 갖는 유전체층들로 구성되는데 현재의 성형공정으로는 약 1 µm가 기술적 한계로 지적되고 있어3) 더 이상의 박층화가 매우 어려운 상황에 직면하고 있다. MLCC 제조공정에 있어 유전체의 성형공정은 액상의 세라믹 슬러리를 Doctor-blade, Die-coater, Lip-coater 등을 이용하여 얇은 층으로 제조하는데 이때 원료 분체입자의 크기, 입도분포, 분산성 등이 충분히 고려되어야만 박층화가 가능하며 현재 1 µm 범위까지의 박층이 적용되고 있다. | |
BaTiO3에서 0.071 nm 반경의 Sn4+이온으로 0.068 nm의 Ti4+ 이온을 치환할 때 Sn의 치환량이 증가함에 따라 회절피크의 저각방향으로의 이동을 예상할 수 있는데 분석된 시편들의 경우, 피크의 이동은 관찰되지 않은 이유는 무엇인가? | 068 nm의 Ti4+ 이온을 치환할 때 Sn의 치환량이 증가함에 따라 회절피크의 저각방향으로의 이동7,13)을 예상할 수 있는데 분석된 시편들의 경우, 피크의 이동은 관찰되지 않는다. 이는 막들간 조성비의 차이가 비교적 작기 때문이라 판단되며 단지 (Ti+Sn)/Ba 비가 1에 접근할수록 회절피크의 강도가 다소 증가하는 경향을 보였다. | |
스퍼터링과 같은 기상증착법이 MLCC공정에 부적합한 이유는? | 4) 증착공정에 의해 MLCC를 제작 시 양산성을 갖추기 위해서는 높은 증착 속도와 조성 제어의 가능성이 요구된다. 그런데 스퍼터링과 같은 기상증착법의 단점은 산화물의 코팅시 매우 낮은 증착속도를 보이므로 수십에서 수백층까지의 적층이 이루어지는 MLCC공정에는 적합하지 않다. 이러한 한계를 극복하기 위하여 전자빔증발법(e-beam evaporation)법을 사용하여 유전체막의 증착을 시도하였다. |
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