[논문]전자빔증발법에 의한 Ba(Ti,Sn)O3막의 제조 및 특성

박상식

doi:10.3740/mrsk.2008.18.7.373

[국내논문] 전자빔증발법에 의한 Ba(Ti,Sn)O3막의 제조 및 특성
Synthesis and Properties of Ba(Ti,Sn)O3 Films by E-Beam Evaporation 원문보기

한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.18 no.7, 2008년, pp.373 - 378

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$Ba(Ti,Sn)O_3$ thin films, for use as dielectrics for MLCCs, were grown from Sn doped BaTiO3 sources by e-beam evaporation. The crystalline phase, microstructure, dielectric and electrical properties of films were investigated as a function of the (Ti＋Sn)/Ba ratio. When $BaTiO_3$ sources doped with $20{\sim}50\;mol%$ of Sn were evaporated, $BaSnO_3$films were grown due to the higher vapor pressure of Ba and Sn than of Ti. However, it was possible to grow the $Ba(Ti,Sn)O_3$ thin films with {\leq}\;15\;mol%$ of Sn by co-evaporation of BTS and Ti metal sources. The (Ti＋Sn)/Ba and Sn/Ti ratio affected the microstructure and surface roughness of films and the dielectric constant increased with increasing Sn content. The dielectric constant and dissipation factor of $Ba(Ti,Sn)O_3$ thin films with {\leq}\;15\;mol%$ of Sn showed the range of 120 to 160 and $2.5{\sim}5.5%$ at 1 KHz, respectively. The leakage current density of films was order of the $10^{-9}{\sim}10^{-8}A/cm^2$ at 300 KV/cm. The research results showed that it was feasible to grow the $Ba(Ti,Sn)O_3$ thin films as dielectrics for MLCCs by an e-beam evaporation technique.

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제안 방법

챔버에 Ar과 O2개스를 주입 후의 챔버압력은 전자빔 산란으로 인한 증발속도의 저하를 막기위해 1 × 10−4 Torr 이하로 유지되도록 증착조건을 설정하였다.
전기적 특성을 측정하기 위해 상부전극으로 100 µm의 직경을 갖는 백금을 약 100 nm의 두께로 dc sputtering법으로 증착하여 MIM (metal-insulator-metal) 구조를 갖도록 하였다.
제조된 박막의 결정구조는 Cu Kα radiation과 Ni 필터를 사용한 X-ray 회절장치(XRD, Panalytical X'pert pro)를, 박막의 미세구조와 조성은 주사전자현미경(SEM-EDX, Jeol, JSM-6700F)을 이용하여 분석하였다.
^8,9) 그런데 증발법을 이용하여 화합물을 증발시 소스의 분해 및 각 원소의 증기압차이로 인해 막에서의 조성불균일이 유발되는 문제점이 보고된다.¹⁰⁾ 본 연구에서는 MLCC에의 적용을 위해 BaTiO₃에 Sn이 다양하게 도핑된 Ba(Ti,Sn)O₃(BTS)소스를 제조하고 전자빔 가열시 BTS 소스의 증발거동을 확인하였다. 박막에 첨가되는 Sn의 양 및 (Ti＋Sn)/Ba 비를 조절하기 위하여 공정조건을 변화시켜 다양한 조성의 박막을 제조하고 조성에 따른 박막의 결정성 및 미세구조에 미치는 영향을 파악하고 전기적 특성을 확인하였다.
¹⁰⁾ 본 연구에서는 MLCC에의 적용을 위해 BaTiO₃에 Sn이 다양하게 도핑된 Ba(Ti,Sn)O₃(BTS)소스를 제조하고 전자빔 가열시 BTS 소스의 증발거동을 확인하였다. 박막에 첨가되는 Sn의 양 및 (Ti＋Sn)/Ba 비를 조절하기 위하여 공정조건을 변화시켜 다양한 조성의 박막을 제조하고 조성에 따른 박막의 결정성 및 미세구조에 미치는 영향을 파악하고 전기적 특성을 확인하였다.
전자빔증발을 위한 BTS 소스는 크게 두 그룹으로 구분하여 제작하였다. 1그룹은 BaCO₃, TiO₂, SnO₂ (순도 99.
전자빔증발을 위한 BTS 소스는 크게 두 그룹으로 구분하여 제작하였다. 1그룹은 BaCO₃, TiO₂, SnO₂ (순도 99.9%이상)를 1000^oC에서의 하소과정을 거친 후 혼합하여 1인치 직경의 봉상으로 성형하였으며 Ti을 치환하는 Sn의 양은 20~50몰%가 되도록 하였다. 2그룹으로 BaTiO₃ 분말에 SnO₂분말을 각각 5몰%(BTS-5), 10몰% (BTS-10)를 첨가하여 혼합 후 1그룹과 같은 크기의 봉상으로 성형 후 1200^oC에서 5시간동안 소성하여 다양한 조성비를 갖는 BTS 소스를 제작하였다.
9%이상)를 1000^oC에서의 하소과정을 거친 후 혼합하여 1인치 직경의 봉상으로 성형하였으며 Ti을 치환하는 Sn의 양은 20~50몰%가 되도록 하였다. 2그룹으로 BaTiO₃ 분말에 SnO₂분말을 각각 5몰%(BTS-5), 10몰% (BTS-10)를 첨가하여 혼합 후 1그룹과 같은 크기의 봉상으로 성형 후 1200^oC에서 5시간동안 소성하여 다양한 조성비를 갖는 BTS 소스를 제작하였다. 기판은 p형(100)Si 기판과 유전체막의 전기적특성의 확인을 위해 Si 기판위에 TiO₂와 Pt을 스퍼터링에 의해 증착하여 사용하였다.
Torr로 유지한 후 증발물의 이온화 유도와 반응성을 향상시키기 위하여 챔버에 이온건(ion gun)을 장착하여 Ar개스 10sccm을 흘리면서 플라즈마 분위기를 유지하였다. 막의 조성을 조절하기위해 Sn함량이 각각 다른 BTS 소스를 전자빔조사를 통해 증발 시켰고, 제조된 막에서 Ti의 부족을 확인한 후 BTS-5, BTS-10소스와 Ti 금속소스를 이웃하게 위치시킨 후 전자빔을 스캔하여 동시증발(coevaporation)시키는 방법을 사용하여 조성을 제어하였다. 전자빔의 스캔시 각 소스에 인가되는 빔의 머무름시간(dwell time)을 다양하게 프로그래밍 하여 막의 조성을 변화시켰다.
막의 조성을 조절하기위해 Sn함량이 각각 다른 BTS 소스를 전자빔조사를 통해 증발 시켰고, 제조된 막에서 Ti의 부족을 확인한 후 BTS-5, BTS-10소스와 Ti 금속소스를 이웃하게 위치시킨 후 전자빔을 스캔하여 동시증발(coevaporation)시키는 방법을 사용하여 조성을 제어하였다. 전자빔의 스캔시 각 소스에 인가되는 빔의 머무름시간(dwell time)을 다양하게 프로그래밍 하여 막의 조성을 변화시켰다. 소스의 증발속도는 챔버에 부착된 QCM (Quartz crystal microbalence)을 이용하여 확인하였고 일정한 증발속도에 도달하도록 전자빔 전류를 인가한 후 셔터를 열고 증착을 시작하였다.
전자빔의 스캔시 각 소스에 인가되는 빔의 머무름시간(dwell time)을 다양하게 프로그래밍 하여 막의 조성을 변화시켰다. 소스의 증발속도는 챔버에 부착된 QCM (Quartz crystal microbalence)을 이용하여 확인하였고 일정한 증발속도에 도달하도록 전자빔 전류를 인가한 후 셔터를 열고 증착을 시작하였다. 챔버에 Ar과 O₂개스를 주입 후의 챔버압력은 전자빔 산란으로 인한 증발속도의 저하를 막기위해 1 × 10⁻⁴ Torr 이하로 유지되도록 증착조건을 설정하였다.
전기적 특성을 측정하기 위해 상부전극으로 100 µm의 직경을 갖는 백금을 약 100 nm의 두께로 dc sputtering법으로 증착하여 MIM (metal-insulator-metal) 구조를 갖도록 하였다. 유전상수 및 유전손실계수의 주파수 특성(C-F)은 impedance gain phase analyzer (HP 4194A)를 이용하였고, 누설전류특성은 picoammeter (HP 4140B) 이용하여 측정하였다.
단수소스를 이용하여 증발시 소스내 Sn의 우선증발로 인해 Ti이 Sn에 비해 적게 함유된 BTS막의 증착이 불가하여 BTS-5, BTS-10소스를 제조하고 Ti의 부족을 보충하기 위해 각각의 BTS 소스와 Ti 소스를 동시증발법 (co-evaporation)에 의해 성막하였다. BTS와 Ti소스에 조사되는 전자빔의 머무름시간을 조절하여 막내에 Ti과 Sn 의 비율을 조절하였다. Fig.

대상 데이터

2그룹으로 BaTiO₃ 분말에 SnO₂분말을 각각 5몰%(BTS-5), 10몰% (BTS-10)를 첨가하여 혼합 후 1그룹과 같은 크기의 봉상으로 성형 후 1200^oC에서 5시간동안 소성하여 다양한 조성비를 갖는 BTS 소스를 제작하였다. 기판은 p형(100)Si 기판과 유전체막의 전기적특성의 확인을 위해 Si 기판위에 TiO₂와 Pt을 스퍼터링에 의해 증착하여 사용하였다.
BaTiO₃에 Ti을 Sn으로 일부 치환한 소스를 단독으로 사용하여 증발 시 Ti 에 비해 Ba과 Sn의 상대적으로 높은 증기압으로 인해 Ti이 일부 첨가된 BaSnO₃상이 형성되어 단수소스를 이용하여 BTS막을 제조하는 것이 불가하였다. Sn이 10%이내로 도핑된 BaTiO₃와 Ti의 복수소스에 인가되는 전자빔의 조사량을 각각 달리하여 동시증발시 15% 이내의 Sn이 도핑된 BaTiO₃ 막을 제조할 수 있었다. Ba이 Ti＋Sn 이온에 비해 과잉으로 함유시 막의 표면이 백색의 Ba 수화물로 변화되었다.

이론/모형

그런데 스퍼터링과 같은 기상증착법의 단점은 산화물의 코팅시 매우 낮은 증착속도를 보이므로 수십에서 수백층까지의 적층이 이루어지는 MLCC공정에는 적합하지 않다. 이러한 한계를 극복하기 위하여 전자빔증발법(e-beam evaporation)법을 사용하여 유전체막의 증착을 시도하였다. 한편, BaTiO₃ 박막은 높은 유전상수 및 낮은 누설전류로 인해 반도체 메모리소자의 캐패시터, 세라믹캐패시터, 센서 등에 적용되고 있는데^5,6) MLCC의 유전체 또한 BaTiO₃를 기본으로하는 원료가 오래전부터 사용되어 왔다.
단수소스를 이용하여 증발시 소스내 Sn의 우선증발로 인해 Ti이 Sn에 비해 적게 함유된 BTS막의 증착이 불가하여 BTS-5, BTS-10소스를 제조하고 Ti의 부족을 보충하기 위해 각각의 BTS 소스와 Ti 소스를 동시증발법 (co-evaporation)에 의해 성막하였다. BTS와 Ti소스에 조사되는 전자빔의 머무름시간을 조절하여 막내에 Ti과 Sn 의 비율을 조절하였다.
MLCC의 유전체층으로써의 적용을 위해 BTS 박막을 전자빔증발법을 이용하여 제조하였다. BaTiO₃에 Ti을 Sn으로 일부 치환한 소스를 단독으로 사용하여 증발 시 Ti 에 비해 Ba과 Sn의 상대적으로 높은 증기압으로 인해 Ti이 일부 첨가된 BaSnO₃상이 형성되어 단수소스를 이용하여 BTS막을 제조하는 것이 불가하였다.

성능/효과

따라서 이러한 상황을 극복하기 위해서는 기상 증착 공정을 그 대안으로 생각해볼 수 있으며 일부 그룹에서 연구가 검토되고 있다.⁴⁾ 증착공정에 의해 MLCC를 제작 시 양산성을 갖추기 위해서는 높은 증착 속도와 조성 제어의 가능성이 요구된다. 그런데 스퍼터링과 같은 기상증착법의 단점은 산화물의 코팅시 매우 낮은 증착속도를 보이므로 수십에서 수백층까지의 적층이 이루어지는 MLCC공정에는 적합하지 않다.
BaTiO₃ 소스를 증발시 일반적으로 Ba 과잉조성을 갖는 막이 제조되는데,¹²⁾ Ti대비 Ba 과잉의 박막에서는 대기에 노출시 박막 표면이 Ba수화물로 쉽게 변화되어 유전체막으로 사용하기가 곤란하나 BaSnO₃의 경우 표면은 비교적 안정한 상태를 보였다. 제조된 BaSnO₃막은 1 kHz에서 30~44정도의 유전상수와 20% 이상의 높은 유전손실값을 보였다.
77를 보였다. 소스내에 Sn이 10% 포함되어 BTS-5 소스에 비해 동일조건에서 Sn이 다소 증가된 조성을 보였다. (a), (b), (c)막은 표면이 비교적 매끄러운 치밀한 막으로 구성되었으나 (d)의 경우 Ba의 과잉으로 인해 거칠은 표면으로 변화되었음을 보인다.
91인 막들의 X-ray 회절 패턴이다. 모든 박막들은 (111) 및 (200)면을 보이는 전형적인 다결정질의 BTS상이 형성되었음을 보인다. BaTiO₃에서 0.
증착된 박막들은 300 kV/cm의 전계에서 10−9~10−8A/cm2 값을 보이고 있어 다른 증착법에 의해 제조되는 BaTiO3 박막들과 비교시 유사한 특성을 보이며18,19) (Ti＋Sn)/Ba 비가 1.04인 BTS막의 경우, 300 kV/cm에서 3 × 10−9A/cm2의 매우 양호한 누설전류밀도를 보였다.
손실계수는 조성비에 따라 크게 변화의 경향성을 보이지 않으며 비교적 작은값을 보였다. 증착된 박막들의 1 kHz에서의 유전상수와 유전손실은 각각 120~160과 3.7~5%의 값을 보였다. BTS 박막에 대한 연구는 많지 않아 비교가 어렵지만 BaTiO₃ 박막에 대한 연구^10,17)에서 얻어진 값들과 비교할 때, 유전상수와, 유전손실은 양호한 값을 보였다.
Ba이 Ti＋Sn 이온에 비해 과잉으로 함유시 막의 표면이 백색의 Ba 수화물로 변화되었다. (Ti＋Sn)/Ba의 비가 0.9~1.1의 범위에서 비교적 안정된 표면미세구조와 BTS의 결정구조를 보였다. 유전상수값은 (Ti＋Sn)/Ba의 비가 증가할수록 유전상수가 증가하는 경향을 보이는데, 주파수에 따른 용량값의 변화는 비교적 안정된 값을 보였고 107 Hz 대역에서 공진점을 보였다.
1의 범위에서 비교적 안정된 표면미세구조와 BTS의 결정구조를 보였다. 유전상수값은 (Ti＋Sn)/Ba의 비가 증가할수록 유전상수가 증가하는 경향을 보이는데, 주파수에 따른 용량값의 변화는 비교적 안정된 값을 보였고 107 Hz 대역에서 공진점을 보였다. 증착된 박막들의 1 kHz 에서의 유전상수와 유전손실은 조성비에 따라 각각 120~160과 3.
유전상수값은 (Ti＋Sn)/Ba의 비가 증가할수록 유전상수가 증가하는 경향을 보이는데, 주파수에 따른 용량값의 변화는 비교적 안정된 값을 보였고 107 Hz 대역에서 공진점을 보였다. 증착된 박막들의 1 kHz 에서의 유전상수와 유전손실은 조성비에 따라 각각 120~160과 3.7~5%의 값을 보여 BaTiO₃와 비교할만한 특성을 보였다. 누설전류밀도는 300 kV/cm의 전계에서 10⁻⁹~10⁻⁸ A/cm²값을 보여 충분한 절연성을 갖춘 것으로 판단된다.
누설전류밀도는 300 kV/cm의 전계에서 10⁻⁹~10⁻⁸ A/cm²값을 보여 충분한 절연성을 갖춘 것으로 판단된다. BTS 박막의 제작을 위해 본 연구에서 사용된 전자빔증발법은 정확한 화학양론비를 갖는 막의 제조가 용이하지 않지만 증착조건에 따라 조성비를 제어할 수 있음을 보였고 증착속도는 20~30 nm/min.의 값을 보여 MLCC의 제조를 위한 공정으로 가능성을 보여주었다.
증착속도를 보였으며 증착시간을 조절하여 300~400 nm가량의 두께를 갖도록 제조하였다. BaTiO₃ 소스를 증발시 일반적으로 Ba 과잉조성을 갖는 막이 제조되는데,¹²⁾ Ti대비 Ba 과잉의 박막에서는 대기에 노출시 박막 표면이 Ba수화물로 쉽게 변화되어 유전체막으로 사용하기가 곤란하나 BaSnO₃의 경우 표면은 비교적 안정한 상태를 보였다. 제조된 BaSnO₃막은 1 kHz에서 30~44정도의 유전상수와 20% 이상의 높은 유전손실값을 보였다.

후속연구

7은 증착된 박막들의 인가전압에 따른 누설전류 거동을 보이고 있다. (Ti＋Sn)/Ba의 비가 화학양론비에 접근 할수록 누설전류밀도는 감소하는데, Dietz 등은 누설전류의 차이가 조성 혹은 미세구조의 변화로 인해 유발된다고 보고하는데¹⁷⁾ Ba²⁺이온에 대비한 Ti 및 Sn⁺⁴가 이온들의 부족 및 미세구조의 차이로 인해 누설전류의 차이를 유발하는 것으로 판단되나 전기전도현상에 대해서는 추가적인 연구가 필요하다. 증착된 박막들은 300 kV/cm의 전계에서 10⁻⁹~10⁻⁸A/cm² 값을 보이고 있어 다른 증착법에 의해 제조되는 BaTiO₃ 박막들과 비교시 유사한 특성을 보이며^18,19) (Ti＋Sn)/Ba 비가 1.

질의응답

핵심어	질문	논문에서 추출한 답변
	현재의 성형공정으로 가질 수 있는 MLCC 두께의 한계는?	1-2) 이러한 MLCC의 기술동향에 따라 생산공정의 개선 및 개발을 통해 유전체층의 박층화와 고적층화가 급속하게 진행되어 왔다. MLCC는 수 µm 이내의 두께를 갖는 유전체층들로 구성되는데 현재의 성형공정으로는 약 1 µm가 기술적 한계로 지적되고 있어3) 더 이상의 박층화가 매우 어려운 상황에 직면하고 있다. MLCC 제조공정에 있어 유전체의 성형공정은 액상의 세라믹 슬러리를 Doctor-blade, Die-coater, Lip-coater 등을 이용하여 얇은 층으로 제조하는데 이때 원료 분체입자의 크기, 입도분포, 분산성 등이 충분히 고려되어야만 박층화가 가능하며 현재 1 µm 범위까지의 박층이 적용되고 있다.
	BaTiO3에서 0.071 nm 반경의 Sn4+이온으로 0.068 nm의 Ti4+ 이온을 치환할 때 Sn의 치환량이 증가함에 따라 회절피크의 저각방향으로의 이동을 예상할 수 있는데 분석된 시편들의 경우, 피크의 이동은 관찰되지 않은 이유는 무엇인가?	068 nm의 Ti4+ 이온을 치환할 때 Sn의 치환량이 증가함에 따라 회절피크의 저각방향으로의 이동7,13)을 예상할 수 있는데 분석된 시편들의 경우, 피크의 이동은 관찰되지 않는다. 이는 막들간 조성비의 차이가 비교적 작기 때문이라 판단되며 단지 (Ti＋Sn)/Ba 비가 1에 접근할수록 회절피크의 강도가 다소 증가하는 경향을 보였다.
	스퍼터링과 같은 기상증착법이 MLCC공정에 부적합한 이유는?	4) 증착공정에 의해 MLCC를 제작 시 양산성을 갖추기 위해서는 높은 증착 속도와 조성 제어의 가능성이 요구된다. 그런데 스퍼터링과 같은 기상증착법의 단점은 산화물의 코팅시 매우 낮은 증착속도를 보이므로 수십에서 수백층까지의 적층이 이루어지는 MLCC공정에는 적합하지 않다. 이러한 한계를 극복하기 위하여 전자빔증발법(e-beam evaporation)법을 사용하여 유전체막의 증착을 시도하였다.

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표제어: PCR

동의어: Packet Collision Rate

용어 설명 출처 목록 (6)

용어 설명: PCR은 세균 특이성이 있는 primer를 이용하여 적은 수의 세균이 있을지라도 쉽게 검출할 수 있는 유용한 방법이며, 이를 이용하여 구강 내 치면세균막이나 타액에서 직접 세균을 검출할 수 있게 되었다[8].

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