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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.17 no.4, 2008년, pp.302 - 310
박현재 (아주대학교 에너지시스템학부) , 오수기 (아주대학교 에너지시스템학부) , 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) , 정광화 (한국표준과학연구원 진공센터)
Heat transfer between substrate and substrate-heater in low vacuum was investigated. The convection related with gas flow and pressure, the heat conduction considering surface roughness and contact pressure, and the heat loss by radiation depending on the surface emissivity were considered. The coef...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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건식공정을 이용한 재료의 표면 개질 과정에서 공정에 중요한 영향을 미치는 요소는 무엇인가? | 건식공정을 이용한 재료의 표면 개질 과정에서 시료 표면의 온도는 공정에 중요한 영향을 미친다. 식각의 경우 시료의 표면 온도에 따라 식각률이 달라지고, 화학 기상증착에 의한 박막형성 공정 또한 시료의 표면온도가 박막 성장속도와 박막의 물리적 특성을 결정짓는 중요한 변수가 된다. | |
열전달 현상의 발생 특징은 무엇인가? | 열전달은 각각 독립적으로 발생하는 경우는 드물며, 대부분 전도, 대류, 복사 현상이 동시에 일어난다. | |
건식공정을 이용한 재료의 표면 개질 과정에서 시료 표면의 온도는 공정에 어떤 영향을 끼치는가? | 건식공정을 이용한 재료의 표면 개질 과정에서 시료 표면의 온도는 공정에 중요한 영향을 미친다. 식각의 경우 시료의 표면 온도에 따라 식각률이 달라지고, 화학 기상증착에 의한 박막형성 공정 또한 시료의 표면온도가 박막 성장속도와 박막의 물리적 특성을 결정짓는 중요한 변수가 된다. [1],[2] 그러나 진공 챔버 내부에서 시료의 온도는 기판가열장치의 온도와 같지 않으며, 특히 저 진공에서 반응 가스를 사용하는 경우 가스의 유량과 진공도에 따라 시료온도가 다르게 나타난다. |
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