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문제 정의
- 하지만 실온에서 ITO박막을 Polymer기판위에 증착할 경우 전기적 특성의 저하가 발생하기 때문에 이점을 개선할 필요가 있다. 따라서 Polymer기판의 변형이 발생하지 않으며 전기적 특성을 개선시킬 수 있는 기판온도 범위를 조사한 결과를 소개한다. 그림 12는 PET 기판위에 기판 온도를 변화시 켜 증착한 ITO박막에 대한 전기적 특성과 미세구조를 평가한 결과를 나타낸다.
- [2], 이러한 문제를 해결하기 위하여 Ando 등은 프로세스 중 챔버 내에 玦0를 버벌 링 시켜 도입함으로써 비정질 ITO박막의 형성에 성공하였으나 생산라인에 적용하기 에는 공정상의 복잡성 및 증착된 박막의 내구성 등이 문제점으로 남아 있는 상황이다 [3]. 따라서 부가적으로 복잡한 공정의 도입 없이 단순한 공정 변수의 제어에 의한 비정질 ITO 박막 형성 기술을 소개 하고자 한다.
- ZnO를 베이스로 하는 재료는 ITO와 비교하여 원재료가 풍부하여 저렴하고, 독성이 없으며 수소분위기 에 내구성이 뛰어나기 때문에 공정상의 장점 등이 있다. 저자는 최근 ZnO를 베 이스로 한 연구를 다수 행하고 있지만, 지면 관계상 ZnO를 베이스로 하는 박막을 스퍼터링 법으로 제작할 경우 공정상 이해를 돕기 위한 기초적 실험결과의한 예를 소개 하고자 한다. 그림 8은 GaQs가 5.
가설 설정
- 242 인 것으로 나타났으며 이 결과 InSbQ는 Sn。?와 유효질량이 근접한 것으로 평가 되 었기 에 전기 전도성 에 대한 가능성을 기대할 수 있다. (이 경우 InSbQ의 결정구조는 Ine (000)위 치 에 Sb는 (1/2, 1/2, 1/2)위치 에 존재한다고 가정하였다).
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