[논문]기체유입이 되는 진공챔버 안의 불균등한 압력분포 연구

와킬 칸; 홍기성; 홍승수

doi:10.5757/jkvs.2009.18.6.403

기체유입이 되는 진공챔버 안의 불균등한 압력분포 연구
A Study of Non-uniform Pressure Distribution in Vacuum Chamber during Dynamic Gas Flow 원문보기

韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.18 no.6, 2009년, pp.403 - 410

와킬 칸 (한국표준과학연구원 진공센터) , 홍기성 (한국표준과학연구원 진공센터) , 홍승수 (한국표준과학연구원 진공센터)

초록
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진공챔버는 진공게이지 교정, 산업에서의 재료처리 등 여러 가지 다양한 용도에 맞게 적용이 가능하다. 이 진공챔버 내부에서 가스가 유입되는 과정에서의 진공도는 일정하게 유지하기가 힘들다. 산업체 응용에서뿐만 아니라 연구과정에서도 진공챔버 내부에 가스가 유입되는 동안의 내부압력분포와 최대도달 평형압력을 아는 것이 매우 중요하다. 이러한 진공챔버 내부의 압력 불균형을 감소시키기 위해서 가스 주입구 부분에 baffle을 이용하는 방법이 있다. 현재 지속적인 기체흐름이 있는 진공챔버 내부의 기체흐름의 작용에 관해 0.1 Pa~133 Pa 영역에서 불규칙한 압력을 최소화하기 위한 baffle plate의 효과에 대해 연구하였다. 최대편차는 가스 주입구 부분에서 나타나는 압력으로 baffle plate가 전환흐름영역에서 큰 영향을 미치는 것으로 나타났다.

Abstract ▼ AI-Helper

Vacuum chambers have wide application for a variety of purposes such as material processing, vacuum gauge calibration, etc. As the dynamic pressure generated in such chamber is non-uniform, in many industrial as well as research processes, it is vital to know the non-uniform gas distribution with associated gas flow regimes and the ways of minimizing these pressure non-uniformities. In the present work, the behavior of gas flow in a vacuum chamber, during continuous gas flow, is described in the pressure range 0.1-133 Pa and the effect of baffle plate in minimizing the pressure non-uniformities is investigated. It was observed that maximum deviations in the pressure occur near the gas inlet point and that the effect of baffle plate in minimizing the pressure non-uniformities is more obvious in the transitional flow regime.

주제어

AI 본문요약
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제안 방법

The chamber also has the facility of installation of baffle plate. That is why, in order to know pressure distribution inside the chamber, the experiment was carried out in two different modes; first pressure distribution data was recorded without baffle plate and then a baffle plate of cross sectional area of 132 cm² was installed at a distance of 30 mm from the top of the chamber. For each case, ten data points were recorded in the desired pressure range of 0.

대상 데이터

1-133 Pa and the experiment was repeated four times under similar conditions. During experiment, nitrogen gas of 99.99% purity was used as the test gas. The system is fully operated through LabView computer software.

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