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문제 정의
- AD Method의 원리에 대해서는 이미 국내외 간행물을 통하여 잘 알려진바 본고에서는 생략하고자 한다. 그림 8은 AD Method에 의 해 얻 어 진 Glass 기 판상의 A12O3 후막으로, N2 Gas를 이용하여 20 1皿 및 60 1皿 노즐을 통해 얻어진 후막의 비교 결과이다.
- 무소결에 대한 본 과제의 개발전략은 세라믹 분말을 최대 고밀도 (60 vol.% 이상)로 충전함으로써 구현하는 것을 목표로 하고 있다. 현재까지 보고된 Theory로써는 I960대 에 미국을 중심으로 수 cm 크기의 입자에 대한 최대 충전밀도를 구하는 연구 (⑦ m Model에 의한 Multi-modal Packing)가 진행 된 바 있다.
- 본고에서는 고집적, 다층화 및 우수한 유전 특성을 갖춘 3-D Integration 세라믹 소재 기술을 개발하기 위해, 초고밀도 충전에 의한 무소결 세라믹 소재 및 공정 개발 및 Decoupling Capacitor 와 같은 High-K 수동소자를 내장화 시키기 위한 상온 후 막 증착 공정 및 이 방법 에 의해 제조된 고유전율 후 막의 유전특성 에 대해 논하기 로 한다. 이 연구에서 구현하고자 하는 3D 패키지의 개념도를 그림 3에 도시하였으며, 고밀도 충전을 위한 전반적 인 실험과정을 그림 4에 도시하였다.
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