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NTIS 바로가기반도체및디스플레이장비학회지 = Journal of the semiconductor & display equipment technology, v.8 no.4, 2009년, pp.89 - 94
정안목 (공주대학교 대학원 기계공학과) , 전의식 (공주대학교 기계자동차 공학부)
The influence on a stability of thermal plasma has been investigated in an electrode structure of non-transferred plasma torch. The variations of dynamic characteristic of the arc voltage was analyzed and compared in terms of voltage character and nozzle types for both the step-shaped nozzles and ma...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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열 플라즈마란? | 열 플라즈마란 열평형 상태에 있는 플라즈마 를 말하지만 엄밀히 물리적으로 정의된 열평형을 의미하는 것이 아니고, 국소 열평형(local thermal equilibrium)상태의 플라즈마를 말한다[1]. 이러한 열 플라즈마는 고열용량, 고속, 다량의 활성입자를 갖으며, 열 플라즈마의 특성을 이용하면 재래식 기술에서는 얻을 수 없는 다양한 적용 특성과 효율적 에너지 순환이 가능하다. | |
전극 간격의 길이가 증가함에 따라 플라즈마의 저항 성분이 증가하게 되어 전류를 고정 하여도, 전압이 증가하는 이유는? | 6에서 나타낸 바와 같이 전극 간격의 변화가 유량변화보다 아크 전압에 더 큰 영향을 미치는 것을 알 수 있다. 일반적으로 전도체의 저항치는 저항체의 단면적 A와 전기 전도도 σ에 반비례하고 길이 l에 비례한다. 이는 전극 간격의 길이가 증가함에 따라 플라즈마의 저항 성분이 증가하게 되어 전류를 고정 하여도, 전압이 증가하는 결과를 볼 수 있다. | |
열 플라즈마의 특성은? | 열 플라즈마란 열평형 상태에 있는 플라즈마 를 말하지만 엄밀히 물리적으로 정의된 열평형을 의미하는 것이 아니고, 국소 열평형(local thermal equilibrium)상태의 플라즈마를 말한다[1]. 이러한 열 플라즈마는 고열용량, 고속, 다량의 활성입자를 갖으며, 열 플라즈마의 특성을 이용하면 재래식 기술에서는 얻을 수 없는 다양한 적용 특성과 효율적 에너지 순환이 가능하다. 운전 조건의 미세한 조절이 용이하고, 환경오염이 적어서 고부가가치의 플라즈마 용사, 신소재 합성, 화학증착 등의 소재공정 분야에서 다양하게 적용할 수 있다. |
S.-M. Oh, D.-W. Park, “Thermal Plasma Process for
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