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조선자연과학논문집 = Journal of the chosun natural science, v.2 no.3, 2009년, pp.202 - 206
정대혁 (한국과학기술연구원 유기규소화학 실험실)
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Optical images based on the porous silicon exhibiting photoluminescence have been prepared from an electrochemical etching of n-type silicon wafer (boron-doped, orientation, resistivity
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| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| 다공성 실리콘은 어떤 특성을 가지는 재료인가? | 이렇게 식각된 다공성 실리콘은 독특한 광학적 성질이 나타나며[1], 1990년대 다공성 실리콘의 효율적인 발광성 (photoluminescence)을 발견한 이래로, 이 분야는 화학, 물리학적으로 매우 광범위하게 응용되고 있다.[2] 다공성 실리콘은 나노구조로 이루어진 높은 표면적을 가지고 있으며, 나노 크기의 기공과 나노미터 스케일의 광 발광성(photoluminescence)과 광 반사성 (reflectivity)이라는 독특한 광학적 특성을 갖는 재료이다.[3] 이러한 다공성 실리콘은 광 결정(photonic crystal) 소재중의 하나로써, 광학 센서로써의 가능성과 광학 신호적 변환의 우수한 성능을 이용한 광학 필터로써의 응용, 특히 실리콘 소재이기 때문에 생체 친화적이고 생체적합성이 우수하다는 장점을 가지고 있다. | |
| 다공성 실리콘은 어떻게 형성되는가? | 반도체 실리콘 웨이퍼에 HF (hydrofluoric acid) 용액을 이용하여 전기화학적 식각을 하면 일정한 나노 크기의 기공과 마이크론 크기의 깊이를 갖는 다공성 실리콘 (porous silicon)이 형성된다. 이렇게 식각된 다공성 실리콘은 독특한 광학적 성질이 나타나며[1], 1990년대 다공성 실리콘의 효율적인 발광성 (photoluminescence)을 발견한 이래로, 이 분야는 화학, 물리학적으로 매우 광범위하게 응용되고 있다. | |
| 다공성 실리콘은 광학 센서로써의 가능성과 광학 신호적 변환의 우수한 성능을 이용한 광학 필터로써의 응용, 특히 실리콘 소재이기 때문에 생체 친화적이고 생체적합성이 우수하다는 장점이 있는데 이 외에 어떤 장점이 더 있는가? | [3] 이러한 다공성 실리콘은 광 결정(photonic crystal) 소재중의 하나로써, 광학 센서로써의 가능성과 광학 신호적 변환의 우수한 성능을 이용한 광학 필터로써의 응용, 특히 실리콘 소재이기 때문에 생체 친화적이고 생체적합성이 우수하다는 장점을 가지고 있다.[4-6] 또한 제작 과정에 있어 재현성이 뛰어나고, 신속하게 제작이 가능하며 다른 광학 센서에 비해 제작하는데 비용이 적게 든다는 장점을 갖는다. 다공성 실리콘 칩 표면에 다양한 표면유도체화를 하여 표면을 안정화 및 여러 가지 다른 표면성질을 갖는 다공성 실리콘을 제작할 수 있다. |
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