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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.26 no.6 = no.219, 2009년, pp.21 - 25
이재종 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 최기봉 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 김기홍 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 박수연 (과학기술연합대학원 대학교 나노메카트로닉스학과)
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