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유동형 미세 열유속 센서의 설계
Design of The Micro Fluidic Heat Flux Sensor 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.26 no.11 = no.224, 2009년, pp.138 - 145  

김정균 (광주과학기술원 기전공학과) ,  조성천 (광주과학기술원 기전공학과) ,  이선규 (광주과학기술원 기전공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

A suspended membrane micro fluidic heat flux sensor that is able to measure the heat flow rate was designed and fabricated by a complementary-metal-oxide-semiconductor-compatible process. The combination of a thirty-junction gold and nickel thermoelectric sensor with an ultralow noise preamplifier, ...

주제어

#열유속 센서   #히터 모듈레이션   #서모파일  

참고문헌 (15)

  1. Diller, T. E., "Advances in Heat Flux Measurements-In Advances in Heat Transfer, Vol. 23," Elsevier, pp. 279-368, 1993 

  2. Eminoglu, S., Tezcan, D. S., Tanrikulu, M. Y. and Akin, T., "Low-cost uncooled infrared detectors in CMOS process," Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 109, No. 1-2, pp. 102-113, 2003 

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  3. Matsumiya, M., Shin, W., Izu, N. and Murayama, N., "Nano-structured thin-film Pt catalyst for thermoelectric hydrogen gas sensor," Sensors and Actuators B: Chemical, Vol. 93, No. 13, pp. 309-315, 2003 

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  4. Buchner, R., Rohloff, K., Benecke, W. and Lang, W., "A high-temperature thermopile fabrication process for thermal flow sensors," Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 130-131, pp. 262-266, 2006 

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  5. Oh, S. H., Jeon, J. C., Kim, M. H. and Lee, S. S., "The micro Heat flux sensor using electroplated copper layers," J. of the KSPE, Vol. 17, No. 7, pp. 226-231, 2000 

  6. Kim, J. H., Kim, B. S., Cho, H. H. and Kim, Y. J., "Fabrication and evaluation of a micro heat flux sensor using thermopile," Proc. of the KSPE Spring Conference, pp. 1210-1213, 2005 

  7. Han, E. K., Choi, G. C., Rho, B. O., Park, T. W. and Lee, M. H., "Development of heat flux sensor using adhesive type film gauge for measuring temperature," J. of the KSPE, Vol. 9, No. 2, pp. 52-60, 1992 

  8. Zhang, Y. and Tadigadapa S., "Calorimetric biosensors with integrated microfluidic channels," Biosensors and Bioelectronics, Vol. 19, No. 12, pp. 1733-1743, 2004 

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  9. Baier, V., Fodisch, R., Ihring, A., Kessler, E., Lercher, J., Wolf, G., Kohler, J. M., Nietzsch, M. and Krugel, M., "Highly sensitive thermopile heat power sensor for micro-fluid calorimetry of biochemical processes," Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 123-124, pp. 354-359, 2005 

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  10. Dehe, A., Fricke. K. and Hartnagel, H. L., "Infrared thermopile sensor based on AlGaAs-GaAs micromachining," Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 47, No. 1, pp. 432-436, 1995 

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  12. Kemp, R. B. and Guan, Y., "Heat flux and the calorimetric-resirometric ratio as measures of catabolic flux in mammalian cells," Thermochimica Acta, Vol. 300, No. 1-2, pp. 199-211, 1997 

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  13. Kim, J. K., Kim, T. H., Cho, S. C., Shin, S. M. and Lee, S. K., "Modeling and fabrication of thin film thermopile sensor," J. of Va. Sci. Technol. B, Vol. 27, No. 3, pp. 1466-1472, 2009 

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  14. Granda, J. J, "The role of bond graph modeling and simulation in mechatronics systems:An integrated software tool: CAMP-G, MATLAB-SIMULINK," Mechatronics, Vol. 12, No. 9, pp. 1271-1295, 2002 

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  15. JEDEC, "EIA/JEDEC Standard No. 51-1, Integrated Circuits Thermal Measurement Method-Electrical Test Method (Single Semiconductor Devices)," JEDEC, pp. 3- 24, 1995 

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