$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

펄스레이저 증착법에 의한 polyethersulfone 기판상의 ZnO박막의 특성
The characteristics of ZnO Thin film on PES substrate by pulsed laser deposition 원문보기

전기학회논문지 = The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers, v.59 no.1, 2010년, pp.113 - 115  

최영진 (인하대 전기공학과) ,  이천 (인하대 전기공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this study, ZnO films have been grown on PES(polyethersu]fone) substrate by PLD(pulsed laser deposition) and characterized as a change of laser density and substrate temperature. Growing conditions were changed with substrate temperatures ranging from 50 to $200^{\circ}C$ and laser den...

주제어

#PLD   #ZnO   #PES  

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

제안 방법

  • 본 논문에서는 PES (polyethersulfone)기판위에 ZnO 박막을 제작하였고, 레이저의 파워와 기판의 온도의 변화에 따른 ZnO 박막의 결정 구조적, 광학적 특성의 변화를 XRD, AFM, SEM, PL측정을 통해서 관찰하였다.
  • 기판의 온도는 50℃- 200℃까지 변화시켰다. 본 논문에서는 펄스 레이저 증착법에 의해 증착 조건에 따라 나타나는 ZnO 박막의 결정 구조적, 광학적 특성을 분석한 후, XRD(X-선 회절법), AFM (원자 현미경), SEM(주사전자현미경)과 PL(Photo luminescence)측정기를 통하여 구조적, 광학적 특성을 분석하였다.
  • 레이저 증착법을 사용하였다. 본 실험에 사용된 챔버의 초기 진공도는 확산펌프를 사용하여 IO* Torr까지 만들 수 있으며, 기판온도를 조절하기 위하여 저항가열히터를 사용하여 제어하였다. 레이저 원으로는 1064 nm의 기본파를 갖는 Nd:YAG 레이저의 4고조파(A= 266nm) 성분을 사용하여 타겟에 조사하였다.
  • 본 연구에서는 펄스 레이저 증착법을 이용하여 PES 기판상에 ZnO 박막을 증착하였다. 저온에서 증착된 ZnO박막은 ZnO박막의 결정성을 보여주는 XRD의 (002)피크가 매우 약하고 산소와 아연의 화학적조성비가 맞지않는 것을 (101) 피크를 통해서 알 수 있다.
  • 99 %의 ZnO 타겟을 사용하였고, 기판으로는 1cm X 1cm 크기의 PES (polyethersulfone)을 사용하였다. 타겟과 기판과의 거리는 4 cm이고, 증착동안에 레이저 펄스가 연속적으로 타겟의 새로운 면에 조사 되도록 하기 위하여 타겟 홀더를 회전하였다. 사용된 레이저 밀도는 0.

대상 데이터

  • 본 실험에 사용된 챔버의 초기 진공도는 확산펌프를 사용하여 IO* Torr까지 만들 수 있으며, 기판온도를 조절하기 위하여 저항가열히터를 사용하여 제어하였다. 레이저 원으로는 1064 nm의 기본파를 갖는 Nd:YAG 레이저의 4고조파(A= 266nm) 성분을 사용하여 타겟에 조사하였다. 박막 증착을 위한 타겟으로는 지름 1 inch 순도 99.
  • 레이저 원으로는 1064 nm의 기본파를 갖는 Nd:YAG 레이저의 4고조파(A= 266nm) 성분을 사용하여 타겟에 조사하였다. 박막 증착을 위한 타겟으로는 지름 1 inch 순도 99.99 %의 ZnO 타겟을 사용하였고, 기판으로는 1cm X 1cm 크기의 PES (polyethersulfone)을 사용하였다. 타겟과 기판과의 거리는 4 cm이고, 증착동안에 레이저 펄스가 연속적으로 타겟의 새로운 면에 조사 되도록 하기 위하여 타겟 홀더를 회전하였다.

이론/모형

  • 본 실험에서 사용된 ZnO 박막의 형성방법은 화학 조성비 특성이 우수하여 다성분 화합물박막성장에 많이 사용되는 펄스 레이저 증착법을 사용하였다. 본 실험에 사용된 챔버의 초기 진공도는 확산펌프를 사용하여 IO* Torr까지 만들 수 있으며, 기판온도를 조절하기 위하여 저항가열히터를 사용하여 제어하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (10)

  1. P. Nunes, E. Fortunato, P. Tonello, F. Braz Fernandes, P. Vilarinho and R. Martins, "Effect of Different Dopant Elements on the Properties of ZnO Thin Films", Vacuum, Vol. 64, pp. 281-285, 2002. 

    상세보기 crossref

  2. G. G. Valle, P. Hammer, S. H. Pulcinelli and C. V. Santilli, "Transparent and Conductive ZnO:Al Thin Films Prepared by Sol-Gel Dip-Coating", J. Euro. Ceram. Soc, Vol. 24, pp. 1009-1013, 2004. 

    상세보기 crossref

  3. H. S. Kang, J. S. Kang, J. W. Kim and S. Y. Lee, "Annealing Effect on the Property of Ultraviolet and Green Emissions of ZnO Thin Films", J. Appl. Phys, Vol. 95, No.3, pp. 1246-1250, 2004. 

  4. D. C. Reynolds, D. C. Look and B. Jogai, "Optical Pumped Ultraviolet Lasing from ZnO", Solid State Commun, Vol. 99, pp. 873-875, 1996. 

    상세보기 crossref

  5. Norton DP, Heo YW, Ivill MP, Lp K, Pearton SJ, Chisholm MF, et al. "ZnO: growth, doping & processing", Mater Today, pp. 34-40, 2004. 

  6. J. H. Lee, K. H. Ko and B. O. Park, "Electrical and Optical Properties of ZnO Transparent Conducting Films by the Sol-Gel Method", J. Cryst. Growth, Vol. 247, pp. 119-125, 2003. 

    상세보기 crossref

  7. Y. Igasaki, T. Naito, K. Murakami and W. Tomoda, "The Effects of Deposition Conditions on the Structural Properties of ZnO Sputtered Films on Sapphire Substrates", Appl. Surf. Sci, Vol. 169-170, pp. 512-516, 2001. 

    상세보기 crossref

  8. B. J. Jin, S. Im and S. Y. Lee, "Violet and UV Luminescence Emitted from ZnO Thin Films Grown on Sapphire by Pulsed Laser Deposition", Thin Solid Films, Vol. 366, pp. 107-110, 2000. 

    상세보기 crossref

  9. K. Haga, T. Suzuki, Y. Kashiwaba, H Watanabe, B. P. Zhang and Y. Segawa, "High-Quality ZnO Films Prepared on Si Wafers by Low-Pressure MO-CVD", Thin Solid Films, Vol. 433, pp. 131-134, 2003. 

    상세보기 crossref

  10. K. Ogata, K. Sakurai, Sz. Fujita, Sg. Fujita and K. Matsushige, "Effects of Thermal Annealing of ZnO Layers Grown by MBE", J. Cryst, Growth, Vol. 214-215, pp. 312-315, 2000. 

    상세보기 crossref

관련 콘텐츠

오픈액세스(OA) 유형

BRONZE

출판사/학술단체 등이 한시적으로 특별한 프로모션 또는 일정기간 경과 후 접근을 허용하여, 출판사/학술단체 등의 사이트에서 이용 가능한 논문

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로