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NTIS 바로가기한국산학기술학회논문지 = Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society, v.11 no.11, 2010년, pp.4095 - 4099
이무연 (고려대학교 기계공학부) , 심재술 (영남대학교 기계공학부) , 이동연 (영남대학교 기계공학부)
Nano-measurement systems such as scanning probe microscopes should be protected against external disturbances. For the design of a scanning probe microscope, the external vibrations need to be characterized and the vibrational properties of the structural frame itself should be modeled. Also, the in...
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Kindt, J. H., Fantner, G. E., Cutroni, J. A., and Hansma, P. K., "Rigid design of fast scanning probe microscopes using finite element analysis", Ultramicroscopy, Vol.100, No.3/4, pp. 259-265, 2004.
Bessason, B., Madshus, C., Froystein, H. A., Kolbjornsen, H., "Vibration criteria for metrology laboratories", Measurement science and technology, Vol. 10, No. 11, pp. 1009-1014, 1999.
Paul, C. R., "Structural Design of Semiconductor Manufacturing Facilities", Proceedings of Construction congress V: managing engineered construction in expanding global markets, pp.186-192, 1997.
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