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NTIS 바로가기한국시뮬레이션학회논문지 = Journal of the Korea Society for Simulation, v.19 no.4, 2010년, pp.99 - 109
송민기 (한국항공대학교 컴퓨터공학과) , 정찬호 (한국항공대학교 컴퓨터공학과) , 지승도 (한국항공대학교 컴퓨터공학과)
Existing research about automated wafer transport management strategy for semiconductor manufacturing equipment was mainly focused on dispatching rules which is optimized to specific system layout, process environment or transfer patterns. But these methods can cause problem as like requiring additi...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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반도체 생산 공장의 추세와 발맞추어 공정설비 상에서 필요하게 된 것은 무엇인가? | 또한, 생산공장에서의 설비 고장, 공정 지연 등으로 발생하는 생산성 감소 요인을 전산화를 통한 실시간 모니터링으로 감지하고 즉각적으로 조치하는 방식을 통하여 생산성 저하를 최소화하고자 노력하고 있다. 이러한 반도체 생산 공장의 추세와 발맞추어 공정설비 상에서도 생산 공장의 요구 사항에 대한 신속하고도 안정적인 대응과, 갈수록 복잡해지는 공정 환경에 대한 지원이 필요하게 되었다. | |
반도체 생산 공장의 추세에 따라 필요하게 된 사항들의 예로는 무엇이 있는가? | 예를 들면 새롭게 개발되는 복잡하고 정밀한 공정의 결과를 확보하기 위하여 다양한 형태의 공정 모듈 및 설비 형태 등이 제안되고 개발되어 이에 부합하는 웨이퍼 이송 운용 전략이 필요하게 되는 경우라 할 수 있다. 또한 공정 복잡도 증가에 따른 병렬/연속(순차)/재방문/혼합 등의 다양한 이송패턴이 동일 시스템 상에서 모두 지원 가능하도록 요구되어 특정 공정을 위한 고정된 이송패턴 상에 최적화되는 것뿐만 아니라 다양한 이송패턴 상에서 최적화되는 것이 요구되는 경우 등에도 해당된다. | |
최근 반도체 생산 공장에서는 어떤 노력을 하고 있는가? | 최근 반도체 생산 공장(FAB : Fabrication)에서는 경쟁력 향상을 위하여 집적도 향상, 차세대 메모리 등의 공정기술 개발 및 FAB 증설과 공정설비에 대한 투자 등을 통하여 생산성 확대에 박차를 가하고 있다[1]. 또한, 생산공장에서의 설비 고장, 공정 지연 등으로 발생하는 생산성 감소 요인을 전산화를 통한 실시간 모니터링으로 감지하고 즉각적으로 조치하는 방식을 통하여 생산성 저하를 최소화하고자 노력하고 있다. 이러한 반도체 생산 공장의 추세와 발맞추어 공정설비 상에서도 생산 공장의 요구 사항에 대한 신속하고도 안정적인 대응과, 갈수록 복잡해지는 공정 환경에 대한 지원이 필요하게 되었다. |
이치우, 한국반도체산업협회, "차세대 반도체 기술동향," 2007.
정치현, "다중 슬롯 클러스터장비의 안정상태 스케줄링 및 모델링," KAIST 석사학위 논문, 2005.
이정수, "챔버 클리닝이 요구되는 양팔 클러스터 장비의 스케줄링 규칙," KAIST 석사학위 논문, 2008.
김희정, "후 공정을 고려한 양 팔 클러스터 장비의 스케줄링과 제어," KAIST 석사학위 논문, 2006.
이환용, "두 팔을 가진 화학 박막 증착용 클러스터 장비의 스케줄링과 공정 시간 결정," KAIST 석사학위 논문, 2000.
Y.H. Shin, T.E. Lee, "Modeling and implementing a real-time scheduling for dual-armed cluster tools," Computer in industry, vol. 45, pp. 13-27, 2001.
S.P. Sethi, J.B. Sidney, and Chelliah Sriskandarajah, "Scheduling in dual gripper robotic cells for productivity gains," IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, vol. 17, no. 3, pp. 324-341, 2001.
Srilakshmi venkatesh, "A Steady-State Throughput Analysis of Cluster Tools: Dual-Blade Versus Single-Blade Robots," IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, vol. 10, no. 4, pp. 418-424, 1997.
Samuel C. Wood, Sanjay Tripathi, and Farhad Moghadam, "A Generic Model for Cluster Tool Throughput Time and Capacity," IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, pp. 194-199, 1994.
도용태, 김일곤, 김종환, 박창현, "인공지능 개념 및 응용 3판," 사이텍미디어, 2009.
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