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자가보정법을 이용한 정밀 스테이지의 직각도 보정
Orthogonality Calibration of a High Precision Stage using Self-calibration Method 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.27 no.3, 2010년, pp.50 - 57  

김기현 (삼성전자 생산기술연구소) ,  박상현 (삼성전자 생산기술연구소) ,  김동민 (삼성전자 생산기술연구소) ,  장상돈 (삼성전자 생산기술연구소)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

A high precision air bearing stage has been developed and calibrated. This linear-motor driven stage was designed to transport a glass or wafer with the X and Y following errors in nanometer regime. To achieve this level of precision, bar type mirrors were adopted for real time ${\Delta}X$

주제어

#직각도   #정밀 스테이지   #보정   #인터페로미터  

참고문헌 (15)

  1. Slocum, A. H., "Precision machine design," Prentice-Hall, pp. 58-113, 1992. 

  2. Evans, C. J. and Hocken, R. J., "Self-calibration: reversal, redundancy, error separation and absolute testing," CIRP Annals -Manufacturing Technology, Vol. 45, No. 2, pp. 617-634, 1996. 

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  3. Hocken, R. J. and Borchardt, B. R., "On characterizing measuring machine geometry," National Bureau of Standards Information Report, NBSIR 79-1752, 1979. 

  4. Lieberman, B., "Quality assurance procedures for MEBES," J. Vac. Sci. Technol., Vol. 15, No. 3, pp. 913-916, 1978. 

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  5. Raugh, M. R., "Absolute 2-D sub-micron metrology for electron beam lithography," Proc. of SPIE, Vol. 480, pp. 145-162, 1984. 

  6. Raugh, M. R., "Absolute two-dimensional submicron metrology for electron beam lithography: a calibration theory with application," Precision Engineering, Vol. 7, No. 1, pp. 3-13, 1985. 

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  8. Ye, J., Takac, M. and Berglund, C. N., "An exact algorithm for self-calibration of two-dimensional precision metrology stages," Precision Engineering, Vol. 20, No. 1, pp. 16-32, 1997. 

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  9. Hume, K. J., "Metrology with autocollimators,"Hilger & Watts, Lts., 1965. 

  10. Ruijl, T., "Ultra Precision Coordinate Measuring Machine; Design, Calibration and Error. Compensation," Ph. D. Thesis, Mechanical Engineering, Delft University of Technology, 2001. 

  11. Renishaw, http://www.renishaw.com/ 

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  13. Lion, http://www.lionprecision.com/ 

  14. Obishi, http://www.obishi.co.jp/ 

  15. Park, S.-H. Kim, D., Kim, K. H. and Jang, S., "Calibration of the straightness and orthogonality of a laser feedback stage system using self-calibration method," Proc. of ICPT, pp. 173-178, 2008. 

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